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我寫的是先進材料的晶圓切割設備。我的指南涵蓋碳化矽的垂直內部切片和多線鋸切,包括製程和選擇問題。在比較切割方法或機器配置之前,我將重點放在讀者應定義的工件和品質目標。.
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