الدليل الكامل لقطع منشار الأسلاك الكريستالية من SiC

وبالنظر إلى ميزاتها المتميزة، مثل المقاومة العالية للتآكل، وتبديد الحرارة الممتاز، ومقاومة التفاعلات الكيميائية، فإن بلورات كربيد السيليكون (SiC) هي في طليعة المواد الحديثة بسبب هذه الخصائص. ومع ذلك، بسبب طبيعة بلورات SiC, ، عملية شقها دقيقة للغاية وتتطلب استخدام أدوات وتقنيات خاصة. الغرض من هذا الدليل هو تقديم مقدمة شاملة لتقنية قطع منشار الأسلاك لبلورات SiC لمحترفي الأعمال والجامعات، على التوالي. علاوة على ذلك، فإنه سيعطي طرقًا عملية من حيث القطع. لن يوضح فقط آليات المناشير السلكية ولكن أيضًا استراتيجيات للمساعدة في القطع بشكل أفضل من خلال الإجابة على المشكلات الشائعة التي يواجهها الممارسون. أو ربما تبحث عن حلول لبلورة SiC، وفي هذه الحالة سيكون هذا الدليل الشامل كافيًا. فهو يوفر تفاصيل حول قطع بلورات SiC للتحسين المتاح حاليًا.

يتم الحصول على تقنية قطع منشار الأسلاك من كربيد السيليكون (SiC) لتعزيز الدقة عند تقطيع بلورات SiC لإنتاج رقائق رقيقة، تستخدم، على سبيل المثال، في قطاعات أشباه الموصلات وتحويل الطاقة. أصبحت هذه العملية ممكنة بفضل سلك قطري مطلي بدقة فائقة، مما يضمن قطعًا عالية الجودة مع الحد الأدنى من خسائر الشق. تعتبر عوامل التحكم في القطع مثل قوة الشد في السلك والترهل وعرض القطع ونوع المواد الكاشطة عميقة جدًا أيضًا لتقييم جودة القطع وفعالية العملية. يؤدي تحسين العوامل المذكورة أعلاه إلى تقليل استهلاك الوقت ويضمن عدم المساس بالخصائص الميكانيكية لمناشير أسلاك SiC.

نظرة عامة على بلورات كربيد السيليكون (SiC) وتطبيقاتها

بلورات كربيد السيليكون (SiC) عبارة عن مركبات تساهمية قائمة على السيليكون والكربون ذات خصائص ميكانيكية وحرارية وكهربائية هائلة. يتمتع SiC بفجوة نطاق واسعة، وتبديد حرارة عالي، وخمول كيميائي، وتحمل ملحوظ للمجالات الكهربائية ودرجات الحرارة العالية، مما يسمح باستخدامه في التكنولوجيا المتطورة. في عالم الإلكترونيات، يتم استخدام SiC في بناء أجهزة مثل MOSFETs والثنائيات والعاكسات، حيث تتطلب ظروف التشغيل القاسية وحدات فعالة تقنيًا وطويلة الأمد.

في أنظمة السيارات والفضاء والطاقة المتجددة، تعتبر بلورات SiC حاسمة أيضًا. على سبيل المثال، تستخدم السيارات الكهربائية هذه المواد لإنتاج الأجزاء عالية الأداء، مثل وحدات الطاقة، مما يساهم في توفير الطاقة، ويصبح تحويل الطاقة أفضل، ويصبح فقدان الطاقة أصغر. ومع ذلك، في حالة درجات الحرارة القصوى في وجود توربين غازي أو مبادل حراري، فإن الاستقرار الحراري لـ SiC يجعلها أكثر ملاءمة. خارج الإلكترونيات، تُستخدم أسلاك SiC أيضًا لصلابتها الجوهرية في المواد الكاشطة وأدوات القطع، بالإضافة إلى خصائصها الهيكلية المعززة في إنتاج مواد لمصابيح LED والخلايا الشمسية. ومن المتوقع أن تصبح أكثر شعبية مع تقدم التكنولوجيا وتزايد الطلب على مواد أقوى وأكثر محملة بالطاقة.

الغرض وأهمية قطع منشار الأسلاك في تصنيع SiC

إن قطع رقائق SiC المذكورة باستخدام منشار سلكي يكون مفيدًا وهو أحد تلك العمليات المتكاملة في تصنيع الرقاقات. السلك المذكور سابقًا هو، في معظم الحالات، مادة كاشطة ومغطاة بسلك فولاذي مقطوع، ويقطع هذا السلك طبقة لوح SiC كرقاقة، والتي يتم قطعها إلى سمك متساوٍ. تتمثل ميزة تقنية المنشار السلكي في الحفاظ على SiC، وتقليل الشق، وإنتاج الأسطح الملساء، مما يلغي الحاجة إلى مثل هذا التلميع المكثف بعد القطع. علاوة على ذلك، فهو يوفر معدل إنتاج مرتفعًا جدًا، مما يجعله خيارًا رخيصًا وقابلاً للتطوير لمتطلبات السوق لصناعة الإلكترونيات والطاقة. وهذا يسمح بإنتاج رقاقة مستقر وعالي، ويلعب منشار سلك SiC دورًا أساسيًا في تطوير الأجهزة المعتمدة على SiC.

كيف يمكن مقارنة قطع منشار الأسلاك بطرق القطع الأخرى

بشكل عام، نشر الأسلاك كوسيلة محتملة للقطع له مزاياه الهامة، مثل الدقة العالية وفعالية التكلفة. وهو يختلف عن نشر الشفرات، مما يؤدي إلى هدر هائل للمواد والقطع الخام؛ في نشر الأسلاك، تكون نسبة فقدان الشق منخفضة. وذلك لأن السلك المراد قطعه رقيق جدًا. على العكس من ذلك، فإن نشر الأسلاك، مقارنة بالقطع بالليزر، أقل عرضة لتدمير المادة حرارياً، مما يساعد في الحفاظ على السمات الهيكلية والمورفولوجية للمادة، مثل تلك الخاصة بمنشار الأسلاك SiC. هناك حاجة لتحدي كفاءة تصنيع التفريغ الكهربائي (EDM) عندما يتعلق الأمر بإنتاج كميات كبيرة من الرقائق، خاصة وأن المواد الصلبة سهلة القطع باستخدامها، ولكنها بطيئة ومكلفة لبدء العملية. يزيل نشر الأسلاك هذه المخاوف لأنه عملي للغاية، ويمكنه قطع المواد الهشة بدقة وإنهاء السطح بدرجة عالية من الدقة دون أي عيوب، وبالتالي يفضل في تصنيع الرقائق بكميات كبيرة.

لا يستخدم منشار سلك SiC مادة معينة للشفرة؛ فهو يعمل مع كابل رفيع مصمم خصيصًا يتم سحبه بإحكام ومغطى بمواد كاشطة، وبالتالي عملية قطع. وذلك لأن معظم العمليات تتضمن قطع المواد الصلبة، الأمر الذي يتطلب التحكم في شد السلك وسرعته ومواد الإمداد. وهذا يمكّن السلك من التحرك على النحو الأمثل حتى لا يضع الكثير من الضغط على مادة القطع ويقوم بقطع نظيف دون كسر الرقاقة. يتم تسهيل القطع أيضًا من خلال الطبيعة المرغوبة لسطح القطع. هذه المزايا تضع تقنية المنشار السلكي في المقدمة لأي عدد من العمليات حيث تكون الدقة العالية والجودة العالية من الخصائص المميزة للعملية. وهذا هو الحال بشكل خاص عند العمل على رقائق أشباه الموصلات.

ما هو المنشار السلكي وكيف يعمل؟

تُستخدم هذه الأداة، الدقيقة للغاية، بشكل شائع لقطع المواد الصلبة أو الهشة دون إتلافها باستخدام سلك رفيع ومرن يتم ربط جزيئات كاشطة به. يتم تحريك السلك بشكل مطرد عبر سطح المادة حيث يتم الحفاظ عليه في حالة توتر مع تطبيق إما ملاط كاشط أو مواد كاشطة ثابتة، للحصول على قطع أنيق. تعتمد عملية القطع بشكل أساسي على عمل السلك الكاشط، مما يولد عملية إزالة المواد التي تتمتع بتسامح صارم مع توليد الحرارة الإضافية والضغط على المكون الذي يتم قطعه. تُستخدم مناشير أسلاك SiC بشكل عام في مجالات العمل والصناعات التي تشمل إنتاج أشباه الموصلات التي تتطلب الأسطح بعد القطع لتكون رائعة، وكذلك في قطع الحجر وحتى في تطبيقات استخدام المواد المتقدمة. وهذا التطبيق يجعله ضرورة في كل نشاط يتطلب تجزئة المواد بدقة عالية.

المكونات الرئيسية لآلات منشار الأسلاك

التحديات في قطع المواد الصلبة مثل كربيد السيليكون

من الصعب جدًا تصنيع المواد الصلبة، خاصة عند قطع كربيد السيليكون (SiC)، بسبب صلابته العالية وهشاشته وموصلته الحرارية. تتسبب هذه الميزات دائمًا في تآكل الأداة، وضعف جودة القطع، وانتشار الشقوق داخل المادة أثناء عملية القطع. عادةً لا تظل أدوات القطع حادة لفترة طويلة في وجود SiC، ويتم استخدام الماس أو المواد المماثلة كأدوات قطع. والأكثر من ذلك، أن قوى القطع العالية هذه تنتج كميات هائلة من الحرارة بحيث يجب الحفاظ على المواد، وكذلك المعدات، باردة لتجنب تدمير الحرارة. ومع ذلك، يتطلب القيام بذلك الكثير من العناية لتحسين معلمات مثل التغذية والسرعة وسائل التبريد لمنع كل هذه المشكلات، بما في ذلك الحصول على أفضل تشطيب ممكن أو ضمان ترك هياكل المادة سليمة؛ لا تقطيع أو شقوق صغيرة.

تأثير شد الأسلاك وسرعتها على دقة القطع

هناك بعض العوامل التي تؤثر على كفاءة ودقة قطع السلك: يتعرض السلك للتوتر ويتم ترجمته بسرعة معينة. يجب أن يكون شد السلك ضمن حدود معينة لتجنب الانحراف المفرط للسلك لتعزيز الحدة. ومع ذلك، إذا كان هناك الكثير من التوتر، فإن خطر كسر السلك يتعزز؛ ومن ناحية أخرى، إذا كان هناك تراخي، فقد ينقطع السلك بشكل غير دقيق بسبب اهتزاز السلك.

الأمر نفسه ينطبق على سرعة السلك، كما أنها جوهر عملية قطع المواد والتخلص من الحرارة. تساعد زيادة سرعات الأسلاك بشكل عام على إجراء قطع أكثر كفاءة حيث يتم تجنب تراكم الحرارة خلال نقطة واحدة، مما قد يؤدي إلى تشوه قطعة العمل. ومع ذلك، قد تتسبب السرعات العالية جدًا في أن يكون القطع خشنًا جدًا، وسوف يتآكل السلك بسرعة كبيرة. في المقابل، فإن العمل بمعدلات أقل من سرعة السلك يمكن أن يعزز استقرار العملية على حساب مخرجاتها. كقاعدة عامة، يجب التحكم بدقة في شد السلك وسرعة السلك في قطع منشار سلك SiC لتحقيق أقصى قدر من الدقة، اعتمادًا على المادة الخاضعة للقطع بالإضافة إلى النتائج المتوقعة.

أهمية الجسيمات الكاشطة في عملية القطع

الجسيمات الكاشطة بطبيعتها تجعل القطع في إعدادات محددة هو الأفضل، لأنها تساعد في الإزالة السريعة للمواد. تحدد الجزيئات الكاشطة فعالية القطع ودقته ومعدل اكتماله. تؤثر صلابة الجزيئات وشكلها وحجمها على كيفية إجراء القطع، وكيف سيدرك السطح الإجراء، وكيف سيتم تآكل الأداة. تُفضل المواد الصلبة مثل الماس عند قطع المواد الصلبة، بينما تُفضل الحبوب الأكثر ليونة والأدق لإعطاء الأسطح الملساء للمواد الخشنة. علاوة على ذلك، فإن موقع أو ترتيب الجزيئات، الكاشطة بطبيعتها، في القطع يحدد أيضًا مدى جودة إخراج المادة من الغلاف، وفي الاستخدام الخاطئ، يمكن أن يؤدي ذلك إلى أسطح صلبة أو غير مستوية ناتجة عن استخدام المادة الكاشطة. لذلك، من المهم اختيار النوع والحجم الصحيحين للجزيئات الكاشطة لتحقيق قطع الأسلاك الدقيق الناجح باستخدام منشار سلك SiC.

التبريد والتشحيم أثناء القطع

تتطلب عملية القطع الدقيقة تبريدًا وتزييتًا فعالين من أجل التحكم في التآكل والتشوه والتغيرات السطحية الضارة للأداة. أثناء قطع فولاذ هادفيلد، يتم توليد كمية كبيرة من الحرارة نتيجة لعملية الدك بين الأداة والعينة. تسبب الحرارة تمدد المواد، أو تغيرات في البنية المجهرية، أو حتى تلف الأداة. تمتص المبردات، والتي تكون في معظم الحالات سوائل ذات أساس مائي أو زيتي، الحرارة عن طريق تقليل معدل زيادة درجة الحرارة في منطقة القطع. وبالمقارنة، تقلل مواد التشحيم من معدل الاحتكاك وتجعل من الممكن تشكيل طبقة واقية بين أداة العمل وسطح العمل. المنشار السلكي الأساسي هو الطريقة الأكثر تفضيلاً للقطع الدقيق للمواد الكاشطة الصلبة والمواد الهشة.

باعتبارها اعتبارات مهمة لعملية تبريد وتزييت فعالة، فإن مسائل معدل التدفق والضغط ونوع السائل المستخدم تعتبر حيوية. يضمن النظام المصمم للتدفق العالي تبديد الحرارة الكافية. ومع ذلك، فإن اختيار سائل التبريد أو الزيت المناسب يعتمد على بعض العوامل، بما في ذلك المواد وسرعة القطع وتصميم الأدوات، من بين عوامل أخرى. تم تطوير طرق تبريد جديدة، وهي تستخدم على نطاق واسع في العديد من الصناعات الدقيقة حيث يكون MQL وحتى التشحيم والتبريد المبرد ضروريًا بسبب الأداء المحقق وتقليل الآثار السلبية على البيئة. وفي حالة قطع منشار الأسلاك من كربيد السيليكون (SiC)، من المتوقع أيضًا استخدام أدوات الآلة المتطورة.

يؤدي دمج المناشير السلكية أثناء مراحل التعامل مع المادة البلورية من كربيد السيليكون (SiC) إلى تحسين كفاءة العمليات بشكل كبير بسبب الدقة المقدمة والحركات ثلاثية الأبعاد التي يتم تمكينها دون أي قطع مفرط للمادة. يسمح السلك الرفيع الموجود داخل هذه المناشير بالقطع الدقيق دون اختلاف في أحجام أبعاد طبقات القطع مع تقليل فقدان الشق في مادة SiC باهظة الثمن. علاوة على ذلك، يساعد نظام المنشار السلكي في التشطيب السلس للأسطح المقطوعة، مما يقلل بدوره من كمية سطح القطع الذي يحتاج إلى صقل أطول أو الانتهاء عن طريق الطحن بعد القطع. كما تساعد قدرتها على إدخال مبردات متطورة في عملية القطع في التحكم في تبديد الحرارة بشكل فعال، والتأكد من عدم حدوث أي ضرر ميكانيكي للبنية البلورية، فضلاً عن الحد من مدى تكوين الشقوق الصغيرة في المادة التي يتم قطعها. تؤكد كل هذه الأسباب أن استخدام منشار سلك SiC جزء لا يتجزأ من تصنيع بلورات SiC لصناعة أشباه الموصلات.

تحديد نوع السلك المناسب والمواد الكاشطة

عند تقييم أفضل سلك لتطبيق قطع معين، تشمل العوامل الرئيسية التي يجب مراعاتها صلابة المادة وسمك المادة ومستوى الدقة المتوقع عند القطع. السلك الماسي، وهو سلك شائع في قطع السيليكون والسيراميك والمعادن الصلبة الأخرى، دقيق للغاية لأنه صلب. ومن ناحية أخرى، يمكن استخدام أسلاك الفولاذ المقاوم للصدأ أو الأسلاك المطلية للمواد الناعمة أو غير الكاشطة بمستوى معين من التكلفة والعائد.

يعتمد اختيار المواد الكاشطة أيضًا على نوع المادة المراد قطعها والتشطيب المطلوب في العملية. تعتبر المواد الكاشطة الماسية فعالة بشكل خاص في قطع المواد الصلبة والهشة مثل رقاقة السيليكون، في حين أن المواد الكاشطة من كربيد السيليكون أو أكسيد الألومنيوم شائعة في المواد الأكثر ليونة. يعد حجم حبيبات المواد الكاشطة مهمًا لأن الحبيبات الدقيقة تساعد في الواقع على تحقيق تشطيب نهائي سلس، ولكنها عادةً ما تضع قيودًا على معدل القطع، في حين أن الحبيبات الخشنة تزيد من السرعة ولكنها تترك السطح خشنًا. ومن خلال اختيار المزيج المناسب من هذه العوامل الرئيسية، من الممكن الإدارة الفعالة لمقايضة التكلفة والإنتاج.

إعدادات منشار الأسلاك المثالية لدرجات كريستال SiC المختلفة

بينما أحاول معرفة أفضل طريقة للتعامل مع معلمات قطع منشار الأسلاك لتحقيق تقطيع غير متقطع لمختلف درجات بلورات SiC، فإنني أولي اهتمامًا كبيرًا لهذه المعلمات لمساعدتي في تحديد حالة القطع المثلى لكل نوع من البلورات. في الواقع، مع الدرجات الأعلى من بلورات SiC التي لا تحتوي على أي عيوب، يجب أن يكون معدل التغذية جيدًا جدًا، ويجب أن تكون المادة الكاشطة دقيقة جدًا لتجنب الفراغات على شكل مذنب. ومع ذلك، بالنسبة للدرجات المنخفضة من البلورات التي تحتوي على عدد أكبر من العيوب، أقوم بضبط معدل التغذية، وفي بعض الحالات، زيادة حجم المادة الكاشطة الخشنة من أجل تعزيز كفاءة القطع مع الحفاظ على تشطيب سطحي معقول. بالإضافة إلى ذلك، يجب أيضًا تعديل شد السلك وسرعات الدوران وفقًا لصلابة وهشاشة البلورة بحيث يتم تقطيع الدرجات المطلوبة بشكل مناسب بواسطة منشار سلك SiC.

ملخص

الوجبات السريعة الرئيسية: قطع منشار الأسلاك SiC

• ✔
  يوفر قطع المنشار السلكي كفاءة فائقة في الشق وجودة السطح وقابلية التوسع على نشر الشفرة والقطع بالليزر وEDM لإنتاج رقاقة SiC.
• ✔
  خمسة مكونات رئيسية (سلك الجرافات، ونظام الشد، ونظام البكرة، ونظام التبريد، وآلية التحكم 100 يجب أن تعمل جميعها بشكل متناغم للحصول على إخراج منشار سلك SiC الأمثل.
• ✔
  يجب أن يكون شد الأسلاك وسرعتها متوازنين بدقة: فالكثير من التوتر يهدد بالكسر؛ القليل جدًا يسبب الاهتزاز والقطع غير الدقيق. السرعة العالية جدًا تسبب الأسطح الخشنة؛ منخفض جدًا يقلل من الإنتاجية.
• ✔
  تعتبر الأسلاك الماسية والمواد الكاشطة ذات الحبيبات الدقيقة هي الأنسب لبلورات SiC عالية الجودة والخالية من العيوب؛ تعد الإعدادات الخشنة أكثر ملاءمة للمواد ذات الدرجة المنخفضة ذات كثافة العيوب الأعلى.
• ✔
  يتم اعتماد طرق التبريد المتقدمة ill بما في ذلك MQL والتشحيم المبرد ob بشكل متزايد في تطبيقات منشار الأسلاك SiC لتقليل الضرر الحراري وتلبية المعايير البيئية.

ما هي السمات المميزة لمنشار السلك من منشار السلك الماسي؟

يعد تقطيع سبائك كربيد السيليكون، وإذا لزم الأمر، رقائق كربيد السيليكون حالة خاصة حيث نطبق تقنية مناشير الأسلاك الماسية مع بعض التعديلات التي تؤدي إلى منشار الأسلاك. يحتوي منشار الأسلاك الماسية على حواف قطع مدمجة في المعدن الأساسي، مما يخلق طبقة من هذا السلك ويقطع المادة المرفقة. وهذا ينطبق على السلك المصنوع لقطع سبائك SiC، ولهذا السبب تسمى أداة القطع هذه أحيانًا منشار الأسلاك sic. يسمح تصميمه بقطع مادة SiC الصلبة والهشة بالإضافة إلى المواد الصلبة والهشة الأخرى، مثل السيراميك أو المعادن، التي يتم قطعها بسهولة باستخدام هذه الأدوات. هناك اهتمام متزايد بتقليل نفايات الشق الناتجة عن أدوات شفرات إدخال المعرف التقليدية والمناشير من نوع الملاط الكاشطة، حيث توفر المناشير السلكية المرصعة بالألماس والمناشير السلكية التي لا نهاية لها القدرة على تصنيع ما يسمى بالرقائق الرقيقة ذات السماكة الموحدة لتلبية احتياجات أشباه الموصلات ومواد المحركات الأخرى، والتي يجري تطويرها، على سبيل المثال، الثنائيات الكهربائية والترانزستورات ذات التأثير الميداني.

ما هي الآلية التي تسهل بها أسلاك الماس قطع المواد الصلبة والهشة مثل الياقوت والكوارتز؟

تتطلب المواد الصلبة والحساسة (على سبيل المثال، كريستال الياقوت، أو كريستال الكوارتز، أو مواد السيراميك الهندسية، أو نيتريد الألومنيوم، أو الجرمانيوم في بلورات أحادية) حبال الماس القابلة للتمدد، كما أن قطعها بجزيئات الماس يوفر الكثير من الوقت وهو أسهل بكثير. يتم استبدال العمل اليدوي بقطع ترقق. يتم قطعه دون صدمة أو اهتزاز ميكانيكي. وهذا يمنع العيوب الداخلية للشقوق الدقيقة السائبة أو الخارجية في مثل هذه المواد الحساسة. يجب تقييد معظم الأضرار تحت السطح وتموج الأسطح الناتجة عن اللف عن طريق تحسين قطر السلك المستخدم وشده ومبرده (المعتمد على الجليكول أو الماء) وسرعة التغذية.

هل من الممكن استخدام منشار متعدد الأسلاك ونظام منشار سلكي ماسي لا نهاية له لقطع رقائق السيليكون بكميات كبيرة؟

نعم. يتطلب الإنتاج على نطاق واسع لرقائق SiC ورقائق السيليكون تقنيات نشر محددة. أحدهما عبارة عن مناشير متعددة الأسلاك، والآخر عبارة عن مناشير سلكية ماسية لا نهاية لها. تعني المناشير متعددة الأسلاك تقطيع عدة رقائق دفعة واحدة وبالتالي زيادة الإنتاجية إلى الحد الأقصى وفي نفس الوقت تكلفة الرقاقة. من ناحية أخرى، يعد قطع منشار الأسلاك الماسية الذي لا نهاية له سريعًا جدًا، مع التحكم بشكل أفضل في السُمك وتقليل فقدان الشق، وهو أمر مهم جدًا بالنظر إلى الطبيعة الباهظة الثمن لمواد SiC. إن دمج أنظمة مختلفة في العمليات، مثل الميكنة وهياكل الشد والتحكم في العمليات، يجعل هذه التقنيات قابلة للتطبيق لإنتاج أشباه الموصلات وأجهزة الطاقة على نطاق واسع في المستقبل.

كيف يمكن للطرق القديمة للأسلاك الماسية (التآكل بالشرارة) أن تقلل من مخاطر التشقق وتضمن سطح الرقاقة في حالة المواد القابلة للتفتيت؟

يجب إنشاء عدة مجموعات من الإعدادات، على سبيل المثال، لمنع حدوث الشقوق والأضرار التي تلحق بسطح الرقاقة. وتشمل هذه، على سبيل المثال لا الحصر، ما يلي: لا سيما الحجم الأمثل لجسيمات الماس وقطر السلك؛ التحكم في التوتر على شد السلك؛ الاستخدام السليم لعوامل التبريد أو الجنون المائي لأغراض ما بعد القطع؛ وأيضًا معدلات التغذية المثالية للقطع الدقيق بأقل قدر من الضغط. يلعب توفير الارتفاع الناتج دورًا مهمًا جدًا في عملية التصنيع، حيث تكون هذه عمليات فوق محورية وتعتمد على الأجهزة. وذلك بسبب انخفاض الحاجة إلى الطحن أو اللف أو النقش أو التلميع و/أو ما بعد التقطيع بسبب انخفاض الأضرار تحت السطح بالإضافة إلى خشونة السطح.

بمجرد القطع، ما هي عمليات ما بعد القطع، مثل الطحن أو اللفة أو التلميع، المطلوبة في الرقائق التي يتم قطعها باستخدام منشار الأسلاك الماسية؟

هناك طرق مختلفة لمعالجة الرقاقة بعد القطع. ومع ذلك، تعتمد المتطلبات على التطبيق. في حالات تصنيع معظم رقائق أشباه الموصلات، أو معظم رقائق SiC، عادةً ما يتم إجراء القليل من الطحن أو اللف حيث ينتج منشار الأسلاك الماسية ضررًا أقل عمقًا تحت السطح وخصائص نهائية فائقة السطح. ومع ذلك، قد لا يزال هناك تلميع دقيق أو حفر كيميائي لإزالة الطبقات التالفة لتحسين تشطيب السطح وتجهيز الرقائق للنمو الفوقي أو القطع بالقالب. يسهل استخدام مناشير الأسلاك الماسية تقليل هذه العمليات، مما يؤدي بدوره إلى زيادة الإنتاجية وتقليل تكلفة المواد والمعالجة.