DONGHE Company に連絡してください
マルチワイヤーソーマシン: どのように動作するか、どこで使用されるか、何を探すべきか
最終更新日: 3 月 ²0²6 ・ 1² 分
クイック スペック = 一目でわかるマルチワイヤーソー
| ワイヤータイプ | ダイヤモンドコーティング鋼 (直径 0.06 ～ 7.3 mm) |
| カーフの幅 | 0.15 ～ 7.5 mm (ワイヤ直径によって異なります) |
| 対応素材 | シリコン、SiC、サファイア、花崗岩、大理石、セラミックス、石英 |
| 切断公差 | ±0.05 mm (半導体) ・ ±0.5 mm (石) |
| ワイヤースピード | 用途に応じて 10 ～ 80 m/s |
| 典型的なワイヤーカウント | 1 台あたり 4 ～ 1,000+ 本のワイヤ |
マルチワイヤーソーとは何ですか?またその仕組みは何ですか?
マルチワイヤーソーは、通常、ダイヤモンド研磨材でコーティングされた複数の平行ワイヤーを使用して、硬くて脆い材料を 1 回のパスで薄いウェーハまたはスラブにせん断する精密切断機です。各ワークピースは、同時に動作する 4 ～ 1,000 本以上の個別のワイヤーを含むことができる可動ワイヤー アレイの前縁に垂直または水平に供給されます。.
コンセプトでは、動作原理は簡単ですが、エンジニアリング制御は適切な操作のために非常にタイトでなければなりません 各ワイヤは、ガイドホイールのセット上で10 から80 m / sの間の速度で走行し、時には溝付きローラと呼ばれるこれらのローラの制御された動きは、ワイヤを一貫して間隔を保ち、多くの場合、シングルウェーハ生産のために0.³ mmのピッチで-そして各ワイヤは、ワイヤ張力システムを使用して、近傍のどこかの²0-³0 Nの制御された張力の下でワイヤ_速度を上げると、供給力が低下する-66%-ものによって、表面の完全性が向上し、微粒子への表面下の損傷が大幅に減少することがPMCで発表された研究 [1]。.
マルチワイヤーソーマシンで研磨作用を達成する2 つの異なる方法e xxist:
- スラリーベース (緩い研磨剤): 切断媒体に懸濁された炭化ケイ素 (SiC) 粒子のスラリーでコーティングされた無地のワイヤー。スラリー内の緩い研磨剤が切断作業を行います。これは、2015 年頃までシリコン処理に使用される主要なプロセスでした。.
- Fi xed-Abrasive (ダイヤモンドワイヤ): 電気めっきまたは焼結によってワイヤの表面に結合されるダイヤモンド粒子 この技術により、より狭いカーフに加えて、より速い材料除去速度とより高い切断効率が可能になります 現在、80%を超えるシリコンウェーハ加工がダイヤモンドワイヤソーで作られています。.
マルチワイヤー切断機の場合、コアコンポーネントは、ワイヤーウェブを回転させるメインモーター、精密に研削された溝のあるガイドホイール、冷却剤の流れ(石の場合は水ベース、半導体の場合はグリコールまたはPEGベースのいずれか)です。 、ミクロンレベル調整を備えたフィードシステム、およびすべての脚の張力を監視するベミシシタップ追跡システム。.
エンジニアリング上の注意: 厚さの変動に影響を与える唯一の最大の要因は、ウェブ全体にわたるワイヤの張力の均一性です。 500 本のワイヤにわたる張力の ² N の偏差により、実質的にすべての半導体品質仕様が失敗するのに十分な e xxcess 単位の総厚さ変動 (TTV) 値 (0.0²5 mm-) が生成される可能性があります。.
マルチワイヤーソー用途 ――花崗岩スラブから半導体ウェーハまで
マルチワイヤーソー技術は 2 つの非常に異なる業界で採用されており、各業界向けに構築された機械はほぼ同一です。共通の原則があるだけです。間違ったタイプを適用すると、資金が流出し、劣った結果が生じるため、各機械カテゴリーの違いを理解することが重要です。.
石材産業: 花崗岩および大理石のブロック加工
石材加工では、マルチワイヤーソー機械が生の採石場ブロックを校正されたスラブに変えます。 example シングルブレード ホットオフザプレス ストーン マルチワイヤーは、直径 0.35 mm (薄型ワイヤー技術) ～ 7.3 mm (ギャングソー伝統技術) の 40-80 本のダイヤモンド ワイヤーを使用する場合があります。このような機械は、重さ 20 トン以上のブロックを 1 回のプロセスで一貫した寸法のスラブに剪断することができます。.
従来のギャングソーに対する歩留まりの良さは印象的です。直径 0.35 mm のワイヤーを使用した薄いマルチワイヤー技術により、約 0.5 mm の材料カーフが生成されます。これは、従来のギャングソーからの 47 m/m に対して、元のブロック材料の各 m3 あたりスラブ表面の約 55 m を占めます。.
全体として、廃棄/廃止された材料は、24.5% ish (ギャングソー) から約 2.4% (「シンカーフ」マルチワイヤー切断 - a 12) に削減されます。材料の絶対損失量で 10 倍になります。.
半導体と先端材料
半導体製造ウェーハは、マルチワイヤソーシリコンインゴット (モノ結晶およびマルチ結晶) からスライスされたスライス、またはSiC、サファイア、およびGaN、石英、GaArsなどの他のテクニカルセラミックスからスライスされたスライスで構成されていますこれらの機械は、0.15 mmまでのピッチで5001,000+ワイヤのワイヤウェブを一斉に回転させます。.
スラリーシステムは0.²00 mm以下のカーフをフェッチし、ダイヤモンドワイヤーシステムは2-3 倍高速ですが、0.²50 mm近く-です。 単結晶シリコン表面粗さは、ダイヤモンドワイヤーソーイング後、平均してRa 1.08 ～ 1.6 mであり、後のラッピングおよび研磨プロセスの両方で許容されます[2]。.
| アプリケーション | ワイヤー直径 | カーフの幅 | 典型的な許容範囲 | 主要な材料 |
|---|---|---|---|---|
| 花崗岩スラブ切断 | 0.35～7.3mm | 0.5～7.5mm | ±0.5mm | 花崗岩、斑れい岩、玄武岩 |
| 大理石スラブ切断 | 0.35～5.3mm | 0.5～5.5mm | ±0.5mm | 大理石、トラバーチン、オニー× |
| シリコンウェーハスライシング | 0.06～0.12mm | 0.15～0.25mm | ±0.05mm | モノサイ、ポリサイ |
| SiC ウェーハスライシング | 0.06～0.10mm | 0.15～0.20mm | ±0.03mm | 4h-sic、6h-sic |
| サファイア加工 | 0.08～0.15mm | 0.18～0.30mm | ±0.05mm | サファイア (Al2O3) 、ルビー |
| テクニカル セラミックス | 0.10～0.20mm | 0.20～0.35mm | ±0.08mm | アルミナ、ジルコニア、ガラス |
誤っ 一般化:. 「1 つのマルチワイヤーソーは、すべての材料のために動作します。」いいえ、石切断機は、ワイヤ張力50-100 + Nとワイヤ直径0.3 ミリメートルを超える必要があります半導体マシンは、20 から30 N張力とワイヤ直径0.06-0.12 ミリメートルを必要としますガイドホイール負荷パラメータ、冷却液の化学、送り速度、振動パラメータはすべて異なる、サファイアウェーハのための花崗岩マシンを購入-またはその逆-は、使用できない結果になります。.
主要な仕様とパフォーマンスパラメータ
以下では、これらの仕様は、マシンが実際にできること; これらの数値は、マーケティングの推定ではなく、検証されたメーカーの情報源と公開された研究からのものであるため、市場に出回ると、マルチワイヤソーはあらゆるアプリケーションでマルチワイヤソーを使用できるようになります:
| パラメータ | 半導体グレード | ストーン グレード |
|---|---|---|
| ワイヤー直径 | 0.06～0.12mm | 0.35～7.3mm |
| カーフの幅 | 0.15～0.25mm | 0.5～7.5mm |
| ワイヤースピード | 10～25メートル/秒 | 20～80メートル/秒 |
| ワイヤーテンション | 20～30N | 50～120N |
| フィードレート | 0.029 ～ 0.5 mm/分 | 5～25mm/分 |
| 表面粗さ (Ra) | 1.08～1.6μm | 3～12μm |
| 切断公差 | ±0.05mm | ±0.5mm |
| TTV(トータルシック度バリエーション) | ΜL0.025mm | ΜL1.0mm |
| 機械ごとのワイヤー数 | 500～1,000+ | 4～80 |
エンジニアリングノート = 収量関係へのカーフ - 石の切断では、カーフを 1 mm 狭めるごとに、生のブロック 1 立方メートルあたり約 1.5 枚以上のスラブを生成できます (スラブの厚さは 20 mm と仮定)。 $3,200 相当の 2.8 m 花崗岩ブロックでは、5 mm カーフ ギャング ソーから 0.5 mm カーフ マルチワイヤーに移行すると、さらに 12 枚のスラブ (ブロックあたりの収益はわずかに $1,400 に相当) が得られます。.
半導体産業にとって、ワイヤ直径がウェーハ収率に及ぼす影響も同様に重要です。ワイヤ直径を 0.12 mm から 0.06 mm に減らすと、カットごとに約 0.12 mm のカーフが節約されます。直径 200 mm のインゴットで 1,000 枚のウェーハが製造され、合計 120 mm の再生材料が得られます。これは、追加の 650 枚のウェーハに必要なシリコン量とほぼ同じです [6] [7]。.
マルチワイヤーソーと従来の切断方法
マルチワイヤー切断機またはその背後にあるより多くの歴史を持つものを選択すると、機能ではなく実際の納品数値に要約されます。マルチワイヤーが他の大きな銃とどのように比較されるかを見てみましょう。.
| パラメータ | マルチワイヤーソー(薄型) | ギャングソウ | シングルワイヤーソー | ブレードソー(ダイヤモンド) |
|---|---|---|---|---|
| カーフの幅 | 0.5 ミリメートル | 1.5 ミリメートル | 0.2～0.35mm | 3～5mm |
| 収量 (m²/m³) | 55m2/m3 | 47m2/m3 | 58 m²/m³ (シングルカット) | 38m2/m3 |
| 切断速度 (相対) | 3×ギャングソー | 1×(ベースライン) | 0.3×(一度に1枚のスラブ) | カットあたり0.8× |
| 物質的な廃棄物 | ~2.4% | ~24.5% | ~1.5% | ~32% |
| 表面品質 (Ra) | 3～6μm | 8～15μm | 2～5μm | 10～25μm |
| ワイヤー/ブレードのコスト | 30%より高い(ダイヤモンド ワイヤー) | ベースライン (スチールショット) | 40% メートルごとのより高い | 50%は単位ごとに低くなります |
| エネルギー消費 | 15～25kWh/m² | 35～50kWh/m² | 20 ～ 30 kWh/m² | 40～60kWh/m² |
| ノイズレベル | 65～75db | 85～95db | 60～70db | 90～105db |
比較的知られていない側面の 1 つ: ギャングソーイングには、緩い研磨ショットで覆われた鋼製ブレードの前後の衝撃が含まれます。この突然の衝撃により、カララ大理石やある種のトラバーチンなど、吊り下げられた脆い石に微細な亀裂が生じます。所定の位置にあるモーター PiTes の下にあるマルチワイヤーソーからのこの連続的な一方向の切断圧力の過剰により、地下の断片化が大幅に軽減され、天然石の完全な完全性が維持されます。.
マルチワイヤーソーの 2 つの利点
- 従来の方法と比較して、10 ~ 30% 高い材料収率
- 3×石切断用のギャングソーよりも高速なスループット
- 優れた表面仕上げ (Ra 3 ～ 6 μm) により、研磨時間が短縮されます
- エネルギー消費量の削減: 15 ～ 25 kWh/m² 対 35 ～ 50 kWh/m²
- より静かな動作 (65 ～ 75 dB) により、職場の状況が改善されます
- 衝撃切断がないということは、脆性材料の微小亀裂が少ないことを意味します
- 1 回のパスでの同時マルチスラブ生産
ヾ️ 考慮すべき制限事項
- より高い初期資本コスト: ワイヤ数に応じて $150K ~ $500K+
- ダイヤモンド ワイヤー消耗品は鋼鉄打撃の研摩剤の上30%を要しました
- ワイヤ破損のリスクは、直径が薄くなるほど増加します (<0.08 mm)
- 乾式刃の切断よりも厳しい冷却剤管理
- 張力校正とワイヤーねじ切りには訓練を受けたオペレーターが必要です
- 所定のローラースパンとワイヤーの長さに対して、最大ワークピース幅を取得できます。.
適切なマルチワイヤーソーマシンを選択する方法
適切なマルチワイヤーソーを選択することは、マシンの能力を特定の生産ニーズに一致させることに帰着します。これは、購入ミスに陥る頻度によって最も重要にランク付けされる要因の詳細な 8 段階チェックリストです。.
蛟8 点選択チェックリスト
- 材料タイプ: ワイヤータイプを決定します。焼結ダイヤモンドワイヤーは、モース硬度が8を超えるシェーター材料(SiC、サファイア)に効果的です。電気メッキワイヤーは、より高い切断速度がより望ましく、ワイヤーのピーク寿命がそれほど重要ではない、より柔らかい材料(大理石、石灰岩)に適しています。業界フォーラムの経験則:スチールブレードで石を引っ掻くことができますか?-その後、電気メッキが行く方法です。その後、焼結することはできません。.
- 必要なパネルまたはウェーハの厚さ、および許容範囲 石材アプリケーションの一般的な需要は 0.5 mm 半導体ウェーハ: 0.05 mm 以上。 machine_precision ガイド ホイールとフィード システムは、許容範囲と互換性がある必要があります。緩んだローラーに対するソフトウェア修正はありません。.
- ワークピースの最大サイズと寸法厚さ. stoneブロックはめったに3.0 より大きい 1.8 1.8 m. Silicon: 150-300 mm diameter. makeあなたの最も大きい予想ワークピースは機械切断室、ローラースパンとワイヤーの長さによって取られることを確認します。.
- 生産量の条件。 64-wireの積み重ねが付いている石造りの機械:1 ヶ月あたりのスラブの800-1,200 m。 4-wire操作:120-200 m/month.ワイヤーおよび仕事率の必要性を一致させて下さい。.
- ワイヤー対寿命の比率 最もよい質の焼結ダイヤモンド ワイヤーは電気めっきされたワイヤーより多くより多く1mあたり約40%を要し、堅い材料とのより長い300%を続きますあなたの購入の決定を厳密には1 メートルあたりの基礎にしないでください。.
- 冷却および潤滑システムの適切性 石材機械は毎分200-500 Lの水を必要とします 半導体は、高精度の温度 (0.5 C) で再循環グリコールまたはPEGベースの冷却剤を受け入れます 冷却が不十分であると、ワイヤの早期摩耗とワークピースの反りが増大します。.
- 制御システムの特徴。コンピューター 数値 ワイヤーの張力を監視する制御機械により、オペレーターの介入が自動的に軽減され、より均一なウェーハが得られます。手動ユニット: より安価で、熟練したオペレーターが必要です。.
- 販売後のサプライヤーとの関係とワイヤー調達。 diamond wire is a consumable. make sure manufacturer can provide replacement wire at a competitive price and has a ready inventory of spare parts. 信頼できるワイヤーサプライチェーンのない機械は、アイドル状態です。.
姘️ よくある選択の間違い
- 間違ったワイヤー張力: 25 N の定格ワイヤーで 40 N を実行するとどうなりますか?; 数時間以内にワイヤーを切断します。常にメーカーの仕様に正確に従ってください。.
- 不十分な冷却流量:水を節約するために冷却剤を減らしますか?;ワイヤーの摩耗が50-80%増加し、下面仕上げグレードが増加すると予想します。.
- 最も経済的なワイヤー安い最も低い費用: 花崗岩の予算電気めっきされたワイヤー: 取り替えの前にスラブの15-20 m 同じ石の上のプレミアム焼結ワイヤー:60-80 m. プレミアム ワイヤーの平方メートルあたりの費用はしばしば35%より少なくなります。.
DONGHEマルチワイヤーソーマシンは、石、35 件の特許登録、ISO 9001:2015 認証を取得しながら、ボトゾニーの高度な材料を使用した加工の両方で使用されています。 3000以上の設備で利用可能で、製造チームのサポートを受けているDONGHEは、ワイヤー識別のアドバイス、機械の校正、修復トレーニングなど、幅広い無料の技術支援を提供しています。.
マルチワイヤーソー技術の未来
マルチワイヤーソー技術は並行して急速に進化しています。今後 3-5 年間で業界を大きく変える可能性のある 5 つの開発を紹介します。.
石のための1.Ultra-Thinダイヤモンド ワイヤー(<0.35 mm)
ワイヤメーカーは、5 年前に半導体使用率がゼロだった石の切断領域を含め、直径を 0.35 mm 未満に下げています。ワイヤ直径 0.25 mm では、ワイヤは理論上の収率 59 m/m を達成し、これは物理的な限界である 20 mm スラブ生産に近いです。既知の問題は次のとおりです。ワイヤが細いほど脆くなる ニーズガイド ホイールガイド より高い精度で、より強い溝位置公差 (一般的な機械の 0.05 mm に対して 0.01 mm) が得られます。.
2.UVアシストダイヤモンドワイヤーソーイング
[1].
PMCから発表された研究は、単結晶シリコンのダイヤモンドワイヤ切断における紫外線照射を用いた前処理処理は、他の一般的な鋸引きプロセスよりも23.75%の亀裂と表面下の損傷の平均減少をもたらすことができることを表現しています UVエネルギーは、最小限の力で研磨されやすい材料の表面化学を変化させました 加工ステップと研磨ステップでその破壊率を合計することなく、はるかに薄いウェーハ (150m未満) を使用することが可能です [1]。.
3.SiCウェーハ用レーザースライシング
IEEE出版によって出版されたSmithaDirectのためのいくつかのグループからの進行中の研究は炭化ケイ素のためのレーザー ベースのウエハーリングを使用してフラウンホーファー研究所によって行われた。 レーザー ベースのプロセスは、焦点を合わせ、損傷面を発生させるレーザー光線を使用し、その後、機械プロセスを使用してウェーハをすばやく分離する。 従って、プロセスは埋め込まれた材料のゼロカーフ損失を達成し、材料の無駄を劇的に減らすことができる。 SiC-itの未加工ブール材料費のために 厚さ1 インチあたりのUS$800-educate $2,000、これらのアプローチは、40-60%によってウエーハーごとの材料費を減らすことができる [5]。.
4. 300 mm ウェーハのスケーラビリティの課題
ウェーハ直径が大きくなるにつれて (ウェーハ ローダーが 300 mm 以上)。マルチワイヤソーは、TTV を制御するための極端な進化に直面しているウェーハの表面全体など、大規模で平坦性を達成することが非常に困難になります。ワイヤのたわみと波動は、何倍にもわたる切断時間の延長によって増加します。 IEEE と Wiley (2025) による最近の研究では、ワイヤの振動が最大であり、ガマヌールが振動を減衰させ、高度な張力フィードバック システムを使用することを要求する 300 Mm スケールの精度が最大に制限されることがわかりました [3]。.
5.CNCオートメーションとスマートモニタリング
現在のマルチワイヤーソーマシンは、ワイヤー張力のリアルタイム監視システム、送り速度の自動制御、および予測子メンテナンスシステムを使用しています。純正ワイヤーの一部の高度なシステムは、各摩耗を追跡して、最大 0.5 N の機械の張力変化を検出できる MDMS センサーのタイミングによって切断設定を簡単に調整できます [4]。.
このテクニカル分析について
このレポートは、査読付きジャーナルからのマルチワイヤーソー技術とダイヤモンドワイヤー切断に関する最初の記事を説明し、エンジニアリング情報を検証し、メーカー仕様を確認しました。 DONGHE (Shanghai Donghe Science & Technology Co., Ltd) は、10 年以上の直接製造経験を持ち、ワイヤーソーマシン設計に関する 35 件の特許を取得している唯一の企業です。技術的特徴を比較するために、信頼できる情報源から検証されたすべての技術的説明が明確に参照されます。業界標準は、理論的な計算ではなく、現在の製造施設を示すものです[6][7]。.
よくある質問frequently Asked Questions
マルチワイヤーソーはどのように機能しますか?
[2].
マルチワイヤーソーは、10-80 m/秒の速度で走る一連の平行ワイヤーにワークピースを供給します。一連のダイヤモンド研磨材を備えたすべてのワイヤーは、ワークピースを粉砕します。ガイドホイールは、ワイヤーワークピースの距離公差をすべて保持します(この値は、半導体では 20-30 N、石ではそれ以上です)。その後、切断プロセスでは 7 軸を使用して、1 回のテイクで複数のウェーハまたはスラブを機能させました。.
マルチワイヤーソーはどのような材料を切断できますか?
マルチワイヤーソーは、実質的にすべての硬くて脆い材料を扱うことができます 石材産業では: 花崗岩、ビー玉、トラバーチン、玄武岩: ハイテク産業では: 単結晶シリコン、多結晶シリコン、SiC、サファイア、AlO、GaA、GaN: 石英: テクニカルセラミックス: アルミナ、ジルコニア、特殊ガラスでは、ワイヤーの種類とXeituok仕様は硬度と破壊靭性に対応する必要があります。.
マルチワイヤーソーのカーフ幅は?
カーフ幅は0.15mm(超微細半導体線)から7.5mm(標準石線)まで。薄型多線石機では0.5mm程度の狭いカーフが得られる場合がある。半導体ダイヤモンド線から作られた鋸は、使用するワイヤー直径に応じて0.15-0.25mmのカーフを達成します。.
マルチワイヤーソーとギャングソー ――どちらが良いですか?
石材加工生産の大多数のためにマルチワイヤーソーは、歩留まり (55 m/m v 47 m/m) 、スピード (3 倍速) 、表面品質Ra 3-6 m v 8-15 mとエネルギー (P20 15-25kWh/m v 35-50kWh/m) でギャングソーを上回っています.Gangソーは、厚い鋼の刃がより効果的に衝撃荷重を受けるように見える非常に硬い花崗岩タイプの場合、または初期の機械購入の節約がコストを制限している場合には、依然として経済的に合理的です大理石などのより繊細な石の場合、ギャングソーの微小なひび割れの影響を最小限に抑え、マルチワイヤーソーを使用することが決定的に少なくなります。.
マルチワイヤーソーは何本のワイヤーを使用しますか?
ワイヤー数. 4-wire on small, laboratory machines to more than 1,000 on large volume semiconductor wafer saws. 石材切断機は、一般的に40 から80 本のワイヤーの間で動作します.production scaleシリコンウェーハ機は、500 から1,000 本以上のワイヤーを使用します.
マルチワイヤーソーはどのワイヤー直径を使用しますか?
超精密半導体のために、ワイヤー直径は0.06mmです; 従来の石のギャング様式の機械のために、それは7.3mmです 今日の石の多ワイヤー鋸のほとんどは0.35-1.0mmの範囲にあります 半導体機械は0.06-0.12mmワイヤー ローディングを使用します; 業界はより薄い直径に向かって動いています。.
ダイヤモンドワイヤーはマルチワイヤーソーでどのくらい持続しますか?
ダイヤモンドワイヤの耐久性は、切断される材料、および使用されるワイヤの構造の種類によって決まります 花崗岩では、電気めっきダイヤモンドワイヤは摩耗する前に切断面の15-20 m持続しますが、同じ表面では、焼結ダイヤモンドワイヤは約4 倍長い60-80 mの方向から進み、半導体シリコンで作業すると、1 つのはんだ付けされたワイヤスプール (実際のワイヤの約400-600 km) は、ダイヤモンドグリットが磨耗しすぎて効果的に切断できなくなるまで、5,000 から10,000 のウェーハを切断することができます; 最適な冷却剤の流れ、張力、および供給セットアップで20-40%より長く [6].。.
適切なマルチワイヤーソーを見つける準備はできていますか?
石、半導体、ハイテク材料の加工用に設計された DONGHE 用のダイヤモンド ワイヤーソー切断機の全範囲を開きます。.
参考文献と情報源
- PMC/NIH ¤ 「精密ダイヤモンドワイヤーソーイングの最近の進歩」 ¤ pmc.ncbi.nlm.nih.gov/記事/pmc10456952
- ScienceDirect ↔ 「ダイヤモンドワイヤーソーイングプロセスのレビュー」 ¤ sciencedirect.com
- MDPI マイクロマシン ⁄ ダイヤモンドワイヤソーイングの研究および実験データ
- ウィキペディア ―― 「ワイヤーソー」 ―― en.wikipedia.org/wiki/wire_saw
- フラウンホーファー研究所 ↔ 「炭化ケイ素ウェーハ製造」 ¤ csp.fraunhofer.de
- PMC ¤ 「切断力にワイヤーソー摩耗」 ¤ pmc.ncbi.nlm.nih.gov/記事/pmc10223077
- ScienceDirect ↔ 「多結晶シリコンのダイヤモンド ワイヤソーイング」 ¤ sciencedirect.com
 的 (なな) 的 (て) 的 (て) な (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な) もの (な))
