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切断ニーズに最適な単線鋸機の選び方
速いスペック: 単一のワイヤー鋸盤
| ワイヤースピード範囲 | 10 ~ 80 m/s (精密用途: 20 ~ 50 m/s) |
| ワイヤー直径 | 0.35 ~ 0.60 mm (電気メッキダイヤモンド) |
| 標準カーフ幅 | 0.35 ~ 0.50 mm (高度なシステム: 最低 60 μm) |
| ワイヤーテンション | 150 ~ 250 N (サーボ制御) |
| 代表的な材料 | シリコン、SiC、サファイア、セラミックス、石英、グラファイト、ゲルマニウム |
| 物質的な損失と従来の損失 | 30 ~ 40%はスラリーベースの鋸引きよりカーフ損失が少ない |
を選ぶ a 単線鋸盤 スライス加工が希望の一貫した精度で正確に整列することを保証したり、ワイヤーの貴重な消耗品を捨てて標準以下の結果を生み出したりします。大量のウェーハを製造するように設計されたマルチワイヤーマシンとは異なり、単一のワイヤーソーは、控えめなバッチのプロトタイプ部品を作成したり、複雑なワークピースの形状に対応したり、スライスされるときに各ワークピースに特別な処理が必要な材料を選択したりするための自由を提供します。.
適切なマッチングと悪いマッチングを区別する7 つのパラメーターの簡単なガイドは次のとおりです: 複雑な仕様と材料の互換性から、TCOとサンプルの選択プロセス、利益、損失に基づく決定木へ 半導体ウェーハをスライスする場合、または研究のために機械加工性を評価する場合、冷間切断技術から適切に利用可能なオプションの中から選択すると、初日から品質と効率に大きな違いが生じます。.
このガイドでは
- 単線鋸盤とは何ですか?
- 用途別の単線鋸機のカテゴリ
- 購入前に比較する7 つの重要なスペック
- 材料の互換性
- 総所有コスト
- 安全機能とメンテナンス
- 決定の枠組み
単線鋸機とは何ですか?またその仕組みは何ですか?

シングルワイヤーソーは、ウェーハやバルク基板を個々の部品、スラブ、またはフィルムストリップに切断する主要な方法です。ワイヤー = 通常、厚さは約 0.35 mm ですが、場合によっては 0.20 mm もの薄さ = 冷却剤の流れとサーボ制御の張力装置によって調整された速度で伝播します。ワークピースはコンピューター化されたウェーハ段またはダイボンダーによって取り付けられ、ワイヤー ループに一貫して供給されます。.
ワイヤとワークピースの間の小さな接触パッチにより発生する熱が少ないため、シングルワイヤソーイングは「コールドカット」技術の流れに沿って実行されます。 A journal of Manufacturing Processesに掲載されたレビュー記事 2024年には、この「熱負荷が低い」という利点が、1980年代の現代のウェーハ製造の黎明期におけるシリコン結晶スライシングに関する初期の論文にまで遡り、今日のショップ生産スライスの「ウェーハ結晶化はそのまま残る」特性を可能にするのに役立っていると述べています。.
これらの明確な要件により、ワイヤーソー技術の設計仕様が駆動されます。建設クラスのワイヤーソーは石を噛み砕くための高出力供給に重点を置き、一方、精密クラスの機械は、高価値の材料を成形する際に、薄いカーフ値、寸法公差、完成表面の品質に重点を置きます。透明なセラミックや結晶など。.
特に、敏感な半導体ウェーハをスライスする場合、またはスチールテーブル上の実験室を表す場合、単一のワイヤソーを選択すると、許容誤差がスループットを上回る、柔軟で高精度の機械加工プロセスが提供されます。.
用途別の単線鋸機の種類

単線鋸盤の形状、さまざまな種類のワイヤおよび制御システムは、さまざまな機械をさまざまな期待に向けます。 - 精密でない用途では、純粋な現場での機能を備えた単線鋸盤もあれば、プロトタイプや高価値の作業のための超精密機械もあれば、非精密用途で生産される機械もあります。.
| アプリケーションセグメント | 代表的な材料 | 精度範囲 | ワイヤータイプ |
|---|---|---|---|
| 半導体ウェーハスライシング | シリコン、SiC (4H/6H)、GaAs | ±0.01~0.02mm | 電気メッキダイヤモンド、0.35 ~ 0.40 mm |
| 光学および結晶処理 | サファイア、石英、光学ガラス | ±0.02~0.05mm | 電気メッキダイヤモンド、0.40 ~ 0.50 mm |
| 先進 セラミックス | Al2O3 (99.5%) 、ZrO2、SiN | ±0.05~0.10mm | 電気メッキまたは焼結ダイヤモンド、0.40 ~ 0.60 mm |
| 金属サンプルの準備 | ステンレス鋼、チタン合金、ニッケル超合金 | ±0.10~0.20mm | 焼結ダイヤモンドまたは研磨ワイヤー、0.50 ~ 0.60 mm |
| カーボン&磁性材料 | 黒鉛電極、フェライトコア、カーボンコンポジット | ±0.05~0.15mm | 電気メッキダイヤモンド、0.40 ~ 0.50 mm |
DONGHE は、これまでに収集した 10,000+ ケースにわたるアプリケーションに基づいて、シングル ワイヤー ソー アプリケーションを 5 つのセグメントに分割しています。半導体および光学アプリケーションでは、超微細公差に対して最小直径のワイヤーが使用されますが、金属サンプルの準備ではより広い縁石に耐えますが、金属汚れを避けるために設計された配合が必要です。ダイヤモンドの表面に。.
適切なワイヤソーを選択する際の最初のフィルターは、主な用途セグメントがソーの設計意図に適合しているかどうかを確認することです。セラミック基板切断専用に構築された機械には、半導体ウェーハソーに必要な超微細な張力制御が搭載されていない可能性があります。どちらも硬質材料で動作しているにもかかわらず。.
次に、機械カテゴリを選択します。むしろ、半導体、光学、セラミック、金属、カーボン材料などの主な用途に応じて、最初にワイヤ カテゴリを選択します。これは、部門ごとにワイヤの種類、張力、精度に応じたシステムが異なるためです。.
ワイヤーソーマシンを購入する前に評価すべき 7 つの主要な仕様

私たちが細かく測定するということは、ワイヤーソーマシンだけを指しており、それが優れている場合はパフォーマンスに一貫性を与え、悪い場合は設置後 6 か月でトラブルを引き起こすことになります。これらの 7 つのパラメータは、マシンが最も差動的であり、後で選択エラーを修正するのにコストがかかる、かなり少数の測定された要素です。.
1.ワイヤー速度と切断率
ワイヤー速度 ー 秒あたりのメートルで表される (m/s) ー ダイヤモンドワイヤーソーの切断率に直接影響します 市場で見つかったエンドユーザーのシングルワイヤーソーマシンは、通常、10m / sから最大80m / sの範囲を持ちます 半導体ウェーハスライシングなどの精密アプリケーションは、切断率、表面品質、コストの間で最良のバランスを得る20m / sから50 m / sの間の最適なウィンドウを持ちます。.
切断速度が速くなるとスループットが向上しますが、ダイヤモンドのグリットの劣化も加速します。サファイア加工作業からの現実世界のデータに基づくと、最適なワイヤ速度での一般的な送り速度は 0.1 ~ 0.8 mm/min × は比較的狭い帯域であり、硬い結晶の切断がいかに難しいかを示しています。.
2.切断精度と表面仕上げ
ワイヤー鋸の打抜き機の性能基準は2 つ-機械で造られる位置とプログラムされた位置間の次元の許容として定義することができる位置決めの正確さ、および表面粗さの価値(切口面のRaの価値)です高精度のタングステン ワイヤー鋸の位置決めの正確さ0.01mm、および表面粗さRa 0.8 mは最適化された切断の変数のためのケイ素およびサファイアで得られます。.
3.ワークピースの最大寸法
機械が加工できる最大のワーク寸法は、切断チャンバーの寸法と送り軸の移動量によって制限されます。X 軸の送り軸の移動量 (切断深さ) と Y 軸と Z 軸のマウントの容量を検証します。直径 200 mm のシリコン インゴット用の機械は、必ずしも 300 mm のブールを処理できる正しいハードウェアを備えているとは限りません。.
4.ワイヤー直径とカーフロス
細いワイヤー = 狭いカーフ = 塵に無駄にする代わりに、より高価な材料を切断できることを意味します 一般的な標準的なカーフ幅は、通常のワイヤー直径で0.35 から0.50 mmの間です 0.35 mmの電気メッキワイヤーを利用したより高速で洗練されたシステムは、より大きなカーフ幅を使用した従来のスラリーソーイングと比較して、60 mまでのカーフ幅が可能なわずか0.006 mm (0.0002) で、材料の損失を30 40%削減できる可能性があります。.
これにより、ウェーハあたり炭化ケイ素 $ 300-800 などの高価値材料の材料コストよりもツールのコストが大幅に低くなります。.
5.テンションコントロールシステム
ワイヤー張力の安定性は、カットの品質と平坦度に関係します。サーボ張力制御により、ワイヤー張力は 150 N ~ 250 N の範囲に保たれます。張力はロードセル フィードバック ループを使用して読み取られ、長いカットでワイヤーが熱くなり薄くなるにつれて自動的に調整されます。.
閉ループ張力フィードバックがない機械は、厚さ50mmを超える切断時に寸法と表面粗さが揺らぎます。.
6.クーラントおよび潤滑システム
ダイヤモンドワイヤーソー切断は、切断材料の摩耗汚染スラリーを生成します クーラントシステムは、ワイヤーを冷却するのに十分な高流量で十分に濾過された流体を供給し、カットゾーンからスラリーをフラッシュし、ダイヤモンドグリットを汚染から守るための少なくとも10 m定格の濾過システムを探します 粒子サイズ 5-15 L / minの範囲の流量で、材料とワイヤーの動作速度に応じて変化させることができます。.
7.エネルギー消費と電力要件
ダイヤモンド ワイヤー ソー マシンの電力消費量は、3 kW (実験室用単線モデルの場合) から最大 15 kW (大容量生産モデルの場合) までの範囲です。私たちは、より強力なスピンドル モーターとアクティブ冷却を備えた大型で生産品質のユニットが 8-15 kW 程度で稼働する一方で、単線を使用する実験室用モデルやその他の機械がわずか 3-5 kW で稼働するのを見てきました。運用/生産コストを計算する際にはエネルギー コストを考慮してください。 1 日に 2 シフト稼働する 10 kW の機械は、年間経費を測定可能な量だけ増加させます。.
嬴工注
SiCのウエハー切断のために次の変数に目標を置いて下さい: ワイヤー速度15-30 m/sec、ワイヤー張力180-220 N、送り速度0.2-0.5 mm/min、水流8-12 L/min.これらのデータはメーカーの調査に基づく0.35 mmの電気めっきされたダイヤモンド ワイヤーの4H-SiC (Mohs 9)との仕事に基づいています。.
ワイヤー速度、カットカーフ損失と張力は、究極のカット品質と発生した運用コストに最も直接的に影響を与える3 つのパラメータです。他の機械機能を比較するために移動する前に、3 つを優先してください。.
材料の互換性 ――シングルワイヤーソーはどの材料を切断できますか?

適切なダイヤモンド ワイヤー ソー マシンを選択するには、希望する材料範囲を、求める結果でカットできるかどうかを判断する必要があります。ダイヤモンド ワイヤー ソーは、硬くて脆い材料を多数カットしますが、硬度だけでなく結晶構造にも大きく依存する傾向があります。.
| 材料 | モース硬度 | 推奨ワイヤー | フィードレート | キーチャレンジ |
|---|---|---|---|---|
| シリコン(モノ/ポリ) | ~7 | 電気メッキ、0.35 ~ 0.40 mm | 0.5~2.0mm/分 | 結晶境界での欠け |
| 炭化ケイ素(4H/6H) | 9~9.5 | 電気メッキ、0.35 ~ 0.45 mm | 0.2~0.5mm/分 | 極度の硬度はワイヤー摩耗を加速します |
| サファイア(Al2O3 単結晶) | 9 | 電気メッキ、0.40 ~ 0.50 mm | 0.1~0.8mm/分 | 異方性硬度はカット面によって異なります |
| アルミナセラミック (Al2O3 99.5%) | 9 | 焼結ダイヤモンド、0.45 ~ 0.60 mm | 0.3~1.0mm/分 | 研磨剤粉塵がダイヤモンドグリットを詰まらせます |
| 石英/溶融シリカ | 7 | 電気メッキ、0.40 ~ 0.50 mm | 0.5~1.5mm/分 | 高い送り速度では脆性破壊のリスクがあります |
| グラファイト/カーボンコンポジット | 1~2 | 電気メッキ、0.40 ~ 0.50 mm | 2.0~5.0mm/分 | 微粉塵の場合は濾過を強化する必要があります |
| ゲルマニウム | 6 | 電気メッキ、0.35 ~ 0.45 mm | 0.5~1.5mm/分 | 柔らかいが脆い ――低い張力が必要です |
| フェライトコア/磁性材料 | 5.5~6.5 | 電気メッキ、0.40 ~ 0.50 mm | 0.8~2.0mm/分 | 磁気の破片は機械部品に付着します |
パターンが浮かび上がります: モース硬度が高いほど送り速度が低く、ワイヤの摩耗が速くなります SiCとサファイア (モース9 以上) はどちらも、シリコン (モース7) よりもカットあたりの摩耗が3-5 倍多く、この1 つの要因だけでも運用コストに大きな影響を与える可能性があります。.
グラファイトとフェライトはより柔らかい素材ですが、異なる悪夢のシナリオをもたらします。機械にシールシールドと専用の濾過が欠けている場合、鋭くて脆く、非常に微細な導電性粉末が敏感な電子部品に混入する可能性があります。.
新しい機器を入手する前に、必ず材料のカットテストを実行するように手配してください。公開されたカットパラメータには能力範囲が示されていますが、特定の材料グレード、ワイヤ配合、機械制御の相互作用によって、実際にそれらのパラメータを満たすことができるかどうかが決まります。.
総所有コスト ――購入価格を超えて
ダイヤモンドワイヤーソーマシンの最初の請求書は5年間の費用のうち40-60%を占めますが、ワイヤー消耗品、メンテナンス、電力、ダウンタイムの継続的な費用は残りを占め、一見同一のマシンであっても驚くほど変動する可能性があります。.
| コストカテゴリ | ラボ/r & D 機械 | 生産機械 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 機械購入 | $15,000~$60,000 | $60,000~$250,000+ | 自動化レベル、ワークピース容量によって異なります |
| ダイヤモンドワイヤー(年間) | $2,000~$8,000 | $10,000~$50,000+ | 最大経常コスト ¤材料の硬度によって5 倍変化します |
| メンテナンス(年間) | $1,000~$3,000 | $3,000~$10,000 | ガイド、ベアリング、冷却システムの整備 |
| エネルギー(年間) | $800~$2,000 | $3,000~$8,000 | 3 ~ 15 kW のドロー、シングル/ダブル シフトに基づいています |
| ダウンタイムのコスト | 低い(バッチの柔軟性) | $500 ~ $2,000/日 | 生産ラインの依存関係により影響が倍増します |
消耗品の単価あたりは、さらなる懸念を正当化します。 炭化ケイ素 (Mohs 9.5) 材料には、シリコン (Mohs 7) の3-5 倍のダイヤモンドワイヤ交換が必要になることに注意してください。それだけで、2 シフトで稼働する生産機械で年間$20,000 ~ $40,000 の運用コストを押し上げることができます。 によると マーケットリサーチを最大化します, 、世界のダイヤモンドワイヤーソー市場は2024年に$10億8000万に達しました ――ワイヤー消耗品がその数字のかなりの部分を占めています。.
最も一般的な購入エラー: ステッカー価格だけで機械を購入し、ワイヤー消費コストを無視する 高価な独自のワイヤーを必要とする安価な機械を$15/メートルで購入すると、標準ワイヤーを$5-$8/メートルで実行するより高価な (まだ汎用) 機械を購入するよりも、最終的には3 年間でその3 倍の費用がかかります メーカーが推奨するワイヤーの種類を事前に把握し、最終決定を下す前に購入範囲から完全に外れた詳細価格を設定してください。.
費用対効果の高い購入戦略は、単に支払う請求書価格以上のものを表します 最大許容TCOを決定するには、5 つのコスト変動をすべて考慮するのが最善です ワイヤ摩耗を追跡できる主要な監視システムは、ワイヤソーのTCOを業界データ評価者からの報告に基づいて、2025 年に競合ベンダーの棚にあるダイヤモンドワイヤソーシステムの27%もの多くが、ワイヤ摩耗を見積もるためのリアルタイム監視センサーを組み込んでいた 30%以上の計画外の修正を減らす手段の予知保全警告を可能にすることで、監視はワイヤブレークをスケジュールされたイベントに変換し、文字通り機械のダウンタイムの節約と生産性の向上を実現します。.
安全機能とメンテナンスのベストプラクティス

ダイヤモンドワイヤーソーマシンは、ワイヤーが非常に急速に (最大80m / 秒) 大きな張力範囲 (150-250N) の下で引かれるものです ワイヤーが壊れると、ワイヤーに蓄えられたエネルギーが突然完全に解放されます: 安全機能は、あなたの操作に販売されているあらゆる機械の重要な設計要素です。.
購入前に確認できる安全機能
- ✔
応答時間0.5 秒未満の緊急停止(Eストップ) - ✔
自動機械停止によるワイヤーブレーキ検出センサー - ✔
完全密閉型切断チャンバー (IP54 以上の保護等級) - ✔
インターロックされた安全ドア - マシンはドアを開けたままでは動作できません - ✔
故障時に自動シャットダウンする冷却剤レベルセンサーとフローモニター - ✔
CEスタンプが押されて準拠しています OSHA 1910.213 機械および機械の保護原則。.
長寿のためのメンテナンススケジュール
定期的なメンテナンス間隔をサポートして寿命を延ばしながら、切断効率を最大化する機械を選択してください。実験室から大量生産機械加工分野にわたるダイヤモンド ワイヤー ソーの設置経験に基づいて、次のスケジュールは潜在的なベスト プラクティスを表します。.
| インターバル | タスク | 目的 |
|---|---|---|
| デイリー | 切断室をきれいにし、冷却剤のレベルをチェックし、ワイヤーを視覚的に検査します | デブリの蓄積とワイヤー故障の早期検出を防ぎます |
| 2 週間ごと | ほつれ/摩耗のための点検ワイヤー、点検張力の口径測定 | 切断精度を維持し、ミッドカットワイヤーブレークを防ぎます |
| 月刊 | 電気接続の検査、安全センサーのテスト、冷却剤の pH のチェック | 電気的障害や冷却材の劣化を防止します |
| 6 ヶ月ごとに | ワイヤーガイドを交換し、ベアリングを検査し、冷却剤フィルターを交換します | ワイヤーガイドの摩耗は、カットの直線性とカーフの一貫性に影響します |
| 毎年 | 完全な専門検査: モーター、ドライブ、制御システム、位置合わせ | 失敗を引き起こす前に摩耗パターンを特定します |
適切なPPE: 安全メガネ、耐切削手袋、聴覚保護具を使用してワイヤー交換の準備をしながら身を守ります。ダイヤモンドワイヤーソーシステムのオペレーターの安全性と長期耐久性から、最高品質の安全材料と機械コンポーネントの価格が利益に直接影響します。.
ワイヤーガイドは 6 か月間隔で交換でき、張力の一貫性を保つために隔週で修正するだけで、追加のメンテナンスを必要とせずに切断精度を延ばすことができます。.
単一のワイヤーソーを生産ニーズに合わせる方法 ――意思決定の枠組み

詳細な仕様文字列の最後の項目は、それらのコストと要因のすべてを構造化された選択プロセスにコンパイルすることです。 以下に示すフレームワークは、300 +クライアントにわたるコンサルティングプロセスからコンパイルされました ダイヤモンド ワイヤー の こぎり 切断 機械 正確なアプリケーションのために.
5 段階の選択方法
- 材料を決定 (複数可) ~ 一次材料 (使用される場合は二次材料も含む) 、 そのモース硬度定格、加工する典型的なワークピースのサイズ、および達成する必要がある表面仕様をリストアップすることで、ワイヤーの選択や必要な機器のクラスを決定することができます。.
- 精度のニーズを定義します。 - 許容可能な寸法公差 (mm) と表面粗さ (Ra 値) を記載します。精度のニーズが厳しい場合は、オプションをごく少数の機械オプションに制限します。.
- スループットのニーズを定義します。 - 毎日 (または週) 処理する必要があるカットまたはウェーハの数を決定します。これにより、必要な機器のクラス (クラス 1、2、3 など) と、単一のものであるかどうかが定義されます マルチワイヤーソー 構成が必要になります.
- TCOを計算する = 3 年間の運用コストを構築する:
機械+消耗品(あなたの物質的なmohsの価値に基づいて)+維持+力+オペレーターの時間の投資。 2-3 の最もよい価値の選択の比較を集めて下さい。. - カットテストをリクエストする テストカットのために実際の材料サンプルをマシンビルダーに送信します。仕様シートのデータだけでなく、実際の店舗条件でカット表面の品質、カーフ寸法、ワイヤーの使用率を評価します。.
“「カットテストは、データシートが実践と出会う場所です。同じデータシート仕様のマシンに遭遇しました。ワイヤの張力応答、振動吸収、およびワイヤパスの形状により、カット性能が異なります。データシートにはキャプチャされていません。」”
⁄ DONGHE エンジニアリング チーム、10,000+ 切断ケースの評価に基づく
さまざまな材料の場合 ⁄ 最も硬いもののために行く。 「SiCのような最も硬い材料を処理することができる任意の機械は、シリコンなどの最も柔らかい材料を処理することができる以上のものになるでしょう。」“
実際の材料でテストせずにワイヤソーを 1 つも購入しないでください。データシートには機械が可能なパラメータの範囲が示され、切断テストではその範囲が特定の用途で達成できるかどうかが示されます。.
アプリケーションと部品の寸法に最適な単線鋸を選択するサポートが必要ですか?
ISO 9001:2015 {CE 認証済み | CE マーク付き | 35 件の特許 | 300+ の国際的な顧客
シングルワイヤーソーマシンに関するよくある質問

Q: 単一のワイヤー鋸と多ワイヤー鋸の違いは何ですか?
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Q: 単一のワイヤー鋸は炭化ケイ素をどの位速く切ることができますか?
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Q: ダイヤモンド ワイヤー鋸盤のコストに影響を与える要因は何ですか?
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Q: 単一のワイヤー鋸はどのくらいの頻度で維持されるべきですか?
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Q: 単一のワイヤーは金属を切ってもいいですか?
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Q: ダイヤモンドワイヤーソーの典型的なカーフロスとは何ですか?
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Q: さまざまなサプライヤーからのワイヤーソー切断機の品質を評価するにはどうすればよいですか?
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この分析について
この選択ガイドは、ダイヤモンドワイヤーソー切断技術で35 の国家特許を持つISO 9001:2015 認定メーカーであるDONGHE (Shanghai Donghe Science & Technology Co., Ltd.) の観点から来ています。 ここで参照されている仕様範囲、材料適合性データ、およびメンテナンススケジュールは、10 年間の生産と研究開発で蓄積されたシリコン、炭化ケイ素、サファイア、セラミック基板にわたる10,000+切断ケースのデータベースから引用しています。私たちは、最終的にどのメーカーを選択しても有用であり続けるように、客観的な選択基準を中心にこのガイドを構成しました。.
参考文献と情報源
- 単結晶硬質および脆性材料用のダイヤモンド ワイヤー ソーイング プロセス レビュー ¤ 製造プロセスジャーナル (ScienceDirect)、2024 年
- OSHA 1910.213 ――木工機械の要件 ⁄ 米国労働省労働安全衛生局
- ダイヤモンドワイヤーソー市場: 世界的な業界分析と予測 (2024 ~ 2030 年) ――市場調査を最大化する
- のこぎりの安全性: 現実世界のリスク ¤ 国立医学図書館 (PMC)
- ダイヤモンド ワイヤー ――さまざまな用途向けの精密切断 ―― UKAM 産業用超硬工具
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- DONGHE シングルワイヤーソー 製品 カタログ ¤ 当社のシングルワイヤーソー切断機の全製品をご覧ください





