ith GaN cihazları, optoelektronik cihazlar ve yarı iletken substrat uygulamalarının sürekli gelişimi ile, safir substratlar daha büyük boyutlara, daha yüksek malzeme kullanımına ve daha fazla tutarlılığa doğru hızla ilerlemektedir.verim karşılaştırılabilir kaldığında, daha büyük safir kristalleri malzeme kullanımını artırabilir ve aşağı yönde cihaz imalatının genel maliyet verimliliğini artırabilir.

Günümüzde endüstri, geleneksel küçük boyutlu alt tabakalardan 8 inç ve 12 inçlik gofretler gibi daha büyük spesifikasyonlara doğru kademeli olarak kaymaktadır.Sonuç olarak, büyük boyutlu safir alt tabakaların işleme kapasitesi, malzeme üreticileri ve alt tabaka işleme şirketleri için önemli bir teknik rezerv haline gelmektedir.

Bununla birlikte, alt tabaka boyutunu yükseltmek sadece “kristali büyütme” meselesi değildir.12 inç safir külçeler için, malzemenin yüksek sertliği, güçlü kırılganlığı ve büyük boyutları, kesme sırasında stres kontrolü, hasar kontrolü ve deformasyon kontrolünün zorluğunu önemli ölçüde artırır.Düzensiz külçelerden standart alt tabaka levhalarına kadar, ön uç işleme külçe kırpma, silindirik şekillendirme ve çok telli dilimleme işlemlerinden geçmelidir.Her işlem, sonraki öğütme ve cilalama maliyetinin yanı sıra nihai verimi de doğrudan etkiler.

Kırpma aşamasında, kenar yontma ve malzeme israfını önlemek için hem kesme verimliliği hem de boş bütünlük dikkate alınmalıdır Şekillendirme aşamasında, yuvarlaklık, koaksiyellik ve kenar kalitesi, sonraki dilimleme için kararlı bir geometrik referans oluşturmak üzere kontrol edilmelidir. Dilimleme aşamasında, kalınlık tutarlılığı, TTV, çarpıklık ve yüzey görünümü doğrudan belirlenir.12 inç safir gibi büyük boyutlu özellikler için, sadece malzemeyi kesebilmek artık yeterli değildir. Gerçek süreç zorluğu, zaman içinde istikrarlı, doğru, düşük hasarlı ve son derece tutarlı kesme elde etmede yatmaktadır.

Donghe Çözümü: Ön Uç İşleme için Koordineli Döngü Teli, Tek Telli ve Çok Telli Kesme

12 inç safir substrat işlemede verimliliği, hassasiyeti ve tutarlılığı dengeleme zorluğunu ele almak için Donghe Technology, çekirdek ön uç süreçlerini kapsayan eksiksiz bir elmas tel kesme çözümü sağlar. Çözüm, döngü tel kesme makineleri, pistonlu tek tel kesme makineleri ve her işleme aşamasını bağlamak için sırasıyla yapılandırılmış çok telli kesme makineleri ile “ingot kırpma — silindirik şekillendirme — çok telli dilimleme” işlem rotasını takip eder.

Tek ekipmanlı bir işleme modeliyle karşılaştırıldığında, Donghe Teknolojisi koordineli hat entegrasyonuna daha fazla önem verir. Döngü tel kesme makinesi, büyük boyutlu külçelerin kesme verimliliğini artıran verimli külçe kırpma için kullanılır. Pistonlu tek tel kesme makinesi, yüksek hassasiyetli silindirik şekillendirme için kullanılır, sonraki dilimleme için istikrarlı bir geometrik referans oluşturur. Çok telli kesme makinesi, toplu gofret dilimleme için kullanılır, kalınlık tutarlılığı, yüzey kalitesi ve işleme stabilitesi sağlar.

Adım 1: Külçe Kırpma — Döngü Tel Kesme Makinesi ile Verimli Malzeme Kesme

Büyük boyutlu, sertliği yüksek ve kesilmesi zor olan 12 inç safir külçeler için Donghe Technology, verimli kırpma için yatay bir döngü elmas tel kesme makinesini benimser. Bu işlem esas olarak külçenin kusurlu baş ve kuyruk bölümlerini çıkarmak, külçe segmentasyonunu tamamlamak ve sonraki şekillendirme ve dilimleme için sabit bir boş temel sağlamak için kullanılır.

Geleneksel pistonlu tek telli kesim ile karşılaştırıldığında, döngü tel kesme, daha büyük tel çapı, daha yüksek tel hızı ve daha yüksek kesme verimliliği avantajları sunarak büyük boyutlu safir külçelerin hızlı kırpılması için daha uygun hale getirir.Donghe'nin doğrulanmış verilerine göre, 12 inç safir külçelerin kırpılmasında, tel hızı yaklaşık 150 dakikalık bir işlem süresiyle 3.000 m / dak'ya ulaşabilir.Pistonlu tek telli çözümün yaklaşık 400 dakikalık işlem süresiyle karşılaştırıldığında, bu ön uç işleme döngüsünü önemli ölçüde kısaltabilir.

Adım 2: Silindirik Şekillendirme — Pistonlu Tek Tel Kesme ile Yüksek Hassasiyetli Referans Oluşturma

Külçe kırpma işleminden sonra, silindirik şekillendirme, sonraki çok telli dilimleme için geometrik referansı belirler.Safir külçenin yetersiz yuvarlaklığı veya kararsız koaksiyelliği varsa, sadece daha sonraki öğütme işlemlerinin basıncını arttırmakla kalmaz, aynı zamanda dilimleme sırasında kuvvet tekdüzeliğini ve parti stabilitesini de etkiler.

Donghe Technology'nin pistonlu tek elmas tel kesme makinesi, yüksek hassasiyetli tek tel kesme, büyük tel depolama kapasitesi ve ince gerilim kontrolü özelliklerine sahiptir.Safir külçe derisinin çıkarılması, silindirik kesme, yuvarlaklık kontrolü ve sürekli işleme elde edebilir.Φ370 × 150 mm safir külçelerin şekillendirme uygulamasında, Donghe'nin pistonlu tek tel çözümü yuvarlaklık toleransını 0,1 mm içinde kontrol edebilir. Aynı zamanda, tel maliyeti döngü tel kesimi ile karşılaştırıldığında önemli ölçüde azalır, sonraki 12 inçlik çok telli dilimleme için daha kararlı ve daha ekonomik silindirik külçe temeli sağlar.

Adım 3: Çok Telli Dilimleme — 12 İnç Substratlar için Kararlı Toplu İşleme

12 inç safir alt tabakaların nihai değeri büyük ölçüde çok telli dilimleme işlemine bağlıdır. Bu aşama sadece kesme verimliliğini sağlamakla kalmamalı, aynı zamanda kalınlık tutarlılığını, TTV'yi, çarpıklık, yüzey kalitesini ve parti verimini de kontrol etmelidir.

Donghe Technology'nin çok telli kesme makinesi, 12 inç safir külçelerin son derece tutarlı dilimlenmesini sağlamak için istikrarlı bir tel ağ sistemine, yüksek hızlı tel işleme kapasitesine ve sürekli kesme performansına dayanır.Donghe'nin doğrulanmış verilerine göre, φ305 safir dilimleme için işlem süresi 18 saattir, 1,25 +0,025 mm kalınlık toleransı, 0,017 mm'lik aynı gofret TTV varyasyonu ve 40 μm'lik çarpıklık Gofret görünümü, görünür tel izleri veya düzensiz yüzey hissi, kenar yontulması ve çatlama olmaması gibi gereksinimleri karşılar. Bu sonuçlar, ekipmanın büyük boyutlu safir dilimlemede kararlı işleme kapasitesini göstermektedir.

Ekipman Seçiminden Proses Tanıtımına, 12 İnç Safir Kesiminin Yükseltilmesinin Desteklenmesi

Ekipman ve proses teknolojisinin kombine eşleştirilmesi sayesinde Donghe Teknolojisi, 12 inç safir alt tabaka işleme için sistematik bir çözüm sağlar ve süreci “kesilebilir” den “kararlı, doğru ve verimli kesime” yükseltir. Külçe kırpma ve silindirik şekillendirme işleminden 12 inç çoklu tel dilimlemeye kadar, döngü tel kesme makinesi, pistonlu tek tel kesme makinesi ve çok telli kesme makinesi, büyük boyutlu safir alt tabaka işleme için daha verimli, istikrarlı ve sanayileşmiş ön uç kesme desteği sağlayan eksiksiz bir ürün portföyü oluşturur.

8 inç ve 12 inç safir alt tabakalara plan yapan veya genişleten malzeme üreticileri, alt tabaka işleme şirketleri ve araştırma kurumları için Donghe Technology, yalnızca ekipman seçimi desteği sağlamakla kalmaz, aynı zamanda deneme kesme doğrulaması, süreç optimizasyonu, ekipman özelleştirme, devreye alma eğitimi ve her müşterinin malzeme özelliklerine, işleme hedeflerine ve üretim hattı gereksinimlerine dayalı sürekli teknik destek sağlayabilir.

Tek makineli ekipmandan entegre hat koordinasyonuna ve proses doğrulamasından toplu girişe kadar Donghe Technology, büyük boyutlu sert ve kırılgan malzemelerin işleme yükseltmesini teşvik etmek için daha fazla safir alt tabaka işletmesiyle çalışmaya kararlıdır ve 12 inç safir alt tabaka kesimini mümkün kılar. gerçekten daha ulaşılabilir, daha doğru, daha istikrarlı ve daha verimli hale gelmek.