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12 인치 사파이어 기판 절삭 가공이 더욱 쉬워졌습니다 동허테크놀로지의 완벽한 다이아몬드 와이어 절삭 솔루션은 잉곳에서 웨이퍼까지 전체 공정을 연결합니다
gan 장치,광전자 장치 및 반도체 기판 응용 분야의 지속적인 개발로 인해 사파이어 기판은 더 큰 크기,더 높은 재료 활용도 및 더 큰 일관성을 향해 빠르게 움직이고 있습니다. 수율이 비슷한 수준으로 유지되면 더 큰 사파이어 결정이 재료 활용도를 향상시키고 다운스트림 장치 제조의 전반적인 비용 효율성을 향상시킬 수 있습니다.
오늘날 업계는 전통적인 소형 기판에서 8 인치 및 12 인치 웨이퍼와 같은 더 큰 사양으로 점차 이동하고 있습니다. 그 결과 대형 사파이어 기판의 처리 능력은 재료 제조업체 및 기판 처리 회사의 중요한 기술 예비가되고 있습니다.
그러나 기판 크기를 업그레이드하는 것은 단순히 “크리스탈을 크게 만드는” 문제가 아닙니다. 12 인치 사파이어 잉곳의 경우 재료의 높은 경도,강한 취성 및 큰 치수로 인해 절단 시 응력 제어,손상 제어 및 변형 제어의 어려움이 크게 증가합니다. 불규칙한 잉곳에서 표준 기판 웨이퍼에 이르기까지 프런트 엔드 가공은 잉곳 자르기,원통형 성형 및 다중 와이어 슬라이싱을 거쳐야합니다. 각 공정은 최종 수율뿐만 아니라 후속 연삭 및 연마 비용에 직접적인 영향을 미칩니다.
자르기 단계에서는 가장자리 치핑과 재료 낭비를 피하기 위해 절단 효율과 블랭크 무결성을 모두 고려해야 합니다. 성형 단계에서는 원형도,동축도, 가장자리 품질을 제어하여 후속 슬라이싱을 위한 안정적인 기하학적 기준을 설정해야 합니다. 슬라이싱 단계에서는 두께 일관성,TTV, 뒤틀림,표면 외관이 직접 결정됩니다. 12 인치 사파이어와 같은 대형 사양의 경우 단순히 재료를 절단할 수 있는 것만으로는 더 이상 충분하지 않습니다. 실제 공정 과제는 시간이 지남에 따라 안정적이고 정확하며 손상이 적고 일관성이 높은 절단을 달성하는 데 있습니다.
Donghe 솔루션: 프론트 엔드 처리를 위한 코디네이트 루프 와이어, 단일 와이어 및 다중 와이어 절단
12 인치 사파이어 기판 가공에서 효율성,정밀도, 일관성의 균형을 맞추는 과제를 해결하기 위해 Donghe Technology 는 핵심 프런트 엔드 공정을 포괄하는 완벽한 다이아몬드 와이어 절단 솔루션을 제공합니다. 이 솔루션은 루프 와이어 절단기,왕복 단일 와이어 절단기 및 각 처리 단계를 연결하도록 각각 구성된 다중 와이어 절단기와 함께 “잉곳 자르기 — 원통형 성형 — 다중 와이어 슬라이싱”의 공정 경로를 따릅니다.
단일 장비 가공 모델과 비교하여 Donghe Technology 는 협조 라인 통합에 더 중점을 둡니다. 루프 와이어 절단기는 효율적인 잉곳 자르기에 사용되어 대형 잉곳의 절단 효율을 향상시킵니다. 왕복 단일 와이어 절단기는 고정밀 원통형 성형에 사용되어 후속 슬라이싱에 안정적인 기하학적 기준을 설정합니다. 다중 와이어 절단기는 배치 웨이퍼 슬라이싱에 사용되어 두께 일관성,표면 품질 및 가공 안정성을 보장합니다.
1 단계: 잉곳 자르기 — 루프 와이어 절단기로 효율적인 재료 절단
크기가 크고 경도가 높으며 절단이 어려운 12 인치 사파이어 잉곳의 경우 동허기술은 효율적인 크롭을 위해 수평 루프 다이아몬드 와이어 커팅 머신을 채택합니다. 이 공정은 주로 잉곳의 결함있는 머리 및 꼬리 부분을 제거하고 잉곳 분할을 완료하며 후속 성형 및 슬라이싱을위한 안정적인 블랭크 기초를 제공합니다.
전통적인 왕복 단선 절삭과 비교하여 루프 와이어 절삭은 더 큰 와이어 직경,더 높은 와이어 속도 및 더 높은 절단 효율의 이점을 제공하여 대형 사파이어 잉곳의 신속한 자르기에 더 적합합니다. 동허의 검증된 데이터에 따르면 12 인치 사파이어 잉곳의 자르기에서 와이어 속도는 약 150 분의 처리 시간으로 3,000m/min 에 도달 할 수 있습니다. 왕복 단선 솔루션의 약 400 분 처리 시간과 비교하면 프런트 엔드 처리주기를 크게 단축 할 수 있습니다.
2단계: 원통형 성형 — 왕복 단일 와이어 절단을 통한 고정밀 기준 설정
잉곳 크롭 후 원통형 성형은 후속 멀티 와이어 슬라이싱에 대한 기하학적 기준을 결정합니다. 사파이어 잉곳의 원형도가 불충분하거나 동축이 불안정하면 나중에 분쇄 공정의 압력을 증가시킬뿐만 아니라 슬라이싱 중 힘 균일 성 및 배치 안정성에도 영향을 미칩니다.
동허기술의 왕복 싱글 다이아몬드 와이어 커팅머신은 고정밀 싱글 와이어 커팅,대형 와이어 저장 용량,미세한 장력 제어 기능을 갖추고 있습니다. 사파이어 잉곳 스킨 제거,원통형 커팅,원형성 제어,연속 가공을 달성할 수 있습니다. Φ370 × 150 mm 사파이어 잉곳의 성형 응용 분야에서 동허의 왕복 싱글 와이어 솔루션은 0,1 mm 이내의 원형도 허용 오차를 제어할 수 있습니다. 동시에,와이어 비용은 루프 와이어 커팅에 비해 현저히 감소되어 후속 12 인치 멀티 와이어 슬라이싱을 위한 보다 안정적이고 경제적인 원통형 잉곳 기초를 제공합니다.
3단계: 다중 와이어 슬라이싱 — 12인치 기판의 안정적인 배치 처리
12 인치 사파이어 기판의 최종 값은 멀티 와이어 슬라이싱 공정에 크게 좌우됩니다. 이 단계에서는 절단 효율을 보장할 뿐만 아니라 두께 일관성,TTV, 뒤틀림,표면 품질 및 배치 수율을 제어해야 합니다.
동허테크놀로지의 멀티 와이어 커팅머신은 안정적인 와이어 웹 시스템,고속 와이어 가공 능력,연속적인 커팅 성능에 의존하여 12 인치 사파이어 잉곳의 매우 일관된 슬라이싱을 실현합니다. 동허의 검증된 데이터에 따르면 φ305 사파이어 슬라이싱의 처리 시간은 18 시간이며 두께 공차는 1,25 +0,025mm,동웨이퍼 TTV 변형은 0,017mm,워페이지는 40μm 입니다. 웨이퍼 외관은 눈에 보이는 와이어 마크나 고르지 않은 표면 느낌,엣지 치핑,균열이 없는 등의 요구 사항을 충족합니다. 이러한 결과는 대형 사파이어 슬라이싱에서 장비의 안정적인 가공 능력을 보여줍니다.
장비 선택부터 공정 소개까지, 12 인치 사파이어 절삭의 업그레이드 지원
장비와 공정 기술의 결합 매칭을 통해 동허테크놀로지는 12 인치 사파이어 기판 가공을 위한 체계적인 솔루션을 제공하며, “절단 가능” 에서 “안정적이고 정확하며 효율적인 절삭” 으로 공정을 업그레이드합니다. 잉곳 자르기 및 원통형 성형에서 12 인치 멀티 와이어 슬라이싱까지 루프 와이어 절단기, 왕복 싱글 와이어 절단기, 멀티 와이어 절단기가 완벽한 제품 포트폴리오를 구성하여 대형 사파이어 기판 가공을 위한 보다 효율적이고 안정적이며 산업화된 프런트 엔드 절단 지원을 제공합니다.
8 인치 및 12 인치 사파이어 기판으로 기획 또는 확장 중인 소재 제조업체,기판 가공업체,연구기관을 위해 동허테크놀로지는 장비 선택 지원뿐만 아니라 각 고객의 소재 특성,가공 대상,생산 라인 요구 사항에 따른 시험 절단 검증,공정 최적화,장비 맞춤화,시운전 교육,지속적인 기술 지원을 제공할 수 있습니다.
단일 기계 장비에서 통합 라인 조정, 공정 검증에서 배치 도입에 이르기까지 Donghe Technology는 더 많은 사파이어 기판 기업과 협력하여 대형 경질 및 취성 재료의 가공 업그레이드를 촉진하여 12 인치 사파이어 기판 절단이 가능하도록 최선을 다하고 있습니다. 진정으로 더 달성 가능하고, 더 정확하고, 더 안정적이고, 더 효율적이 됩니다.
