met de voortdurende ontwikkeling van GaN-apparaten, opto-elektronische apparaten en halfgeleidersubstratietoepassingen bewegen saffiersubstraten zich snel naar grotere afmetingen, een hoger materiaalgebruik en een grotere consistentie. Wanneer de opbrengst vergelijkbaar blijft, kunnen grotere saffierkristallen het materiaalgebruik verbeteren en de algehele kostenefficiëntie van de productie van stroomafwaartse apparaten verbeteren.

Tegenwoordig verschuift de industrie geleidelijk van traditionele kleine substraten naar grotere specificaties zoals 8-inch en 12-inch wafers, als gevolg hiervan wordt de verwerkingscapaciteit voor grote saffiersubstraten een belangrijke technische reserve voor materiaalfabrikanten en substraatverwerkingsbedrijven.

Het verbeteren van de substraatgrootte is echter niet simpelweg een kwestie van het groter maken van het kristal.“ Voor 12-inch saffierblokken verhogen de hoge hardheid, sterke brosheid en grote afmetingen van het materiaal de moeilijkheidsgraad van spanningsbeheersing, schadebeheersing en vervormingscontrole aanzienlijk. Tijdens het snijden Van onregelmatige blokken tot standaard substraatwafels moet de front-endverwerking plaatsvinden via het bijsnijden van blokken, cilindrisch vormen en het snijden van meerdere draden. Elk proces heeft rechtstreeks invloed op de uiteindelijke opbrengst en op de kosten van het daaropvolgende malen en polijsten.

In de teeltfase moeten zowel de snij-efficiëntie als de integriteit van de plano in aanmerking worden genomen om het afbrokkelen van de randen en materiaalverspilling te voorkomen. In de vormfase moeten de rondheid, coaxialiteit en randkwaliteit worden gecontroleerd om een stabiele geometrische referentie voor het daaropvolgende snijden vast te stellen. In de snijfase worden de dikteconsistentie, TTV, kromtrekken en het uiterlijk van het oppervlak direct bepaald. Voor specificaties van grote afmetingen, zoals 12-inch saffier, is het eenvoudigweg kunnen snijden van het materiaal niet langer voldoende. De echte procesuitdaging ligt in het bereiken van stabiel, nauwkeurig, weinig schade en zeer consistent snijden in de loop van de tijd.

Donghe-oplossing: gecoördineerde lusdraad, enkele draad en multidraadsnijden voor front-end verwerking

Om de uitdaging van balanceringsefficiëntie, precisie en consistentie bij de verwerking van 12-inch saffiersubstraten aan te pakken, biedt Donghe Technology een complete oplossing voor het snijden van diamantdraad die de front-endprocessen van de kern bedekt. De oplossing volgt de procesroute van “ ”. 'meervoudige plakjes, met machines voor het snijden van lusdraad, heen en weer gaande snijmachines met enkele draad, en snijmachines met meerdere draden die respectievelijk zijn geconfigureerd om elke verwerkingsfase aan te sluiten.

Vergeleken met een verwerkingsmodel met één uitrusting legt Donghe Technology meer nadruk op gecoördineerde lijnintegratie De snijmachine voor lusdraad wordt gebruikt voor efficiënt bijsnijden van blokken, waardoor de snij-efficiëntie van grote blokken wordt verbeterd De heen en weer gaande snijmachine met één draad wordt gebruikt voor uiterst nauwkeurige cilindrische vormgeving, waardoor een stabiele geometrische referentie wordt gecreëerd voor het vervolgens snijden. De meerdraadssnijmachine wordt gebruikt voor het snijden van batchwafels, waardoor dikteconsistentie, oppervlaktekwaliteit en verwerkingsstabiliteit worden gegarandeerd.

Stap 1: Begrens Bijsnijden 1 Efficiënt Materiaal Snijden met Lus Draadsnijmachine

Voor 12-inch saffierblokken, die groot van formaat, hoog van hardheid en moeilijk te snijden zijn, gebruikt Donghe Technology een diamantdraadsnijmachine met horizontale lus voor efficiënt bijsnijden. Dit proces wordt voornamelijk gebruikt om defecte kop- en staartgedeelten van de staaf te verwijderen, de segmentatie van de staaf te voltooien en een stabiele blanco fundering te bieden voor daaropvolgende vormgeving en snijden.

Vergeleken met het traditionele heen en weer gaande snijden van enkele draad biedt het snijden van lusdraad de voordelen van een grotere draaddiameter, een hogere draadsnelheid en een hogere snij-efficiëntie, waardoor het geschikter is voor het snel bijsnijden van grote saffierblokken. Volgens de geverifieerde gegevens van Donghe kan bij het bijsnijden van 12-inch saffierblokken de draadsnelheid oplopen tot 3.000 m/min, met een verwerkingstijd van ongeveer 150 minuten. Vergeleken met de verwerkingstijd van ongeveer 400 minuten van de heen en weer gaande enkeldraadsoplossing kan dit de verwerkingscyclus aan de voorkant aanzienlijk verkorten.

Stap 2: Cilindrische vormgeving 'Een uiterst nauwkeurige referentie tot stand brengen met het opnieuw snijden van enkele draad

Na het bijsnijden van blokken bepaalt de cilindrische vormgeving de geometrische referentie voor het daaropvolgende snijden van meerdere draden. Als de saffierstaaf onvoldoende rondheid of onstabiele coaxialiteit heeft, zal dit niet alleen de druk van latere maalprocessen verhogen, maar ook de krachtuniformiteit en batchstabiliteit tijdens het snijden beïnvloeden.

De reciprocerende snijmachine van de enige diamantdraad van Donghe Technology kenmerkt hoge precisie het enige draad snijden, grote draadopslagcapaciteit, en fijne spanningscontrole Het kan de verwijdering van de huid van de saffieringot, cilindrisch snijden, rondheidscontrole, en ononderbroken verwerking bereiken, In de vormgevende toepassing van Φ370 × 150 mm saffieringots, kan de reciprocerende enige draadoplossing van Donghe rondheidstolerantie binnen 0.1 mm controleren Tegelijkertijd zijn draadkosten aanzienlijk verminderd in vergelijking met het snijden van de lusdraad, die een stabielere en meer economische cilindrische ingotbasis voor het daaropvolgende 12-inch multi-wire snijden verstrekken.

Stap 3: MultiWire Slicing 1-Stable Batch Processing voor 12-inch Substraten

De uiteindelijke waarde van 12-inch saffiersubstraten hangt grotendeels af van het meerdraads snijproces. Deze fase moet niet alleen de snij-efficiëntie garanderen, maar ook de consistentie van de dikte, TTV, kromtrekken, oppervlaktekwaliteit en batchopbrengst controleren.

De meerdraadssnijmachine van Donghe Technology is afhankelijk van een stabiel draadwebsysteem, snelle draadverwerkingsmogelijkheden en continue snijprestaties om zeer consistente snijwonden van 12-inch saffierblokken te bereiken. Volgens de geverifieerde gegevens van Donghe bedraagt de verwerkingstijd voor het snijden van saffier van φ305 18 uur, met een diktetolerantie van 1,25 +0,025 mm, een TTV-variatie met dezelfde wafel van 0,017 mm en een kromtrekking van 40 µm. Het waferuiterlijk voldoet aan de vereisten, waaronder geen zichtbare draadmarkeringen of een ongelijkmatig oppervlaktegevoel, geen randafbrokkelen en geen scheuren. Deze resultaten demonstreren van de stabiele saffiergrootte van de apparatuur.

Van apparatuurselectie tot procesintroductie, ondersteuning van de upgrade van 12-inch saffiersnijden

Door de gecombineerde matching van apparatuur en procestechnologie biedt Donghe Technology een systematische oplossing voor de verwerking van 12-inch saffiersubstraten, waarbij het proces wordt geüpgraded van “table” naar “stabiel, nauwkeurig en efficiënt snijden.” Van het bijsnijden van blokken en cilindrische vormgeving tot 12-inch multi- draadsnijden, de lusdraadsnijmachine, de heen en weer gaande enkeldraadsnijmachine en de meerdraadssnijmachine vormen een compleet productportfolio en bieden efficiëntere, stabielere en geïndustrialiseerde front-end snijondersteuning voor grootschalige verwerking van saffiersubstraten.

Voor materiaalfabrikanten, substraatverwerkingsbedrijven en onderzoeksinstellingen die plannen maken of uitbreiden naar 8-inch en 12-inch saffiersubstraten, kan Donghe Technology niet alleen ondersteuning bieden bij de selectie van apparatuur, maar ook proefsnijverificatie, procesoptimalisatie, aanpassing van apparatuur, inbedrijfstelling training en voortdurende technische ondersteuning op basis van de materiaalkenmerken, verwerkingsdoelen en productielijnvereisten van elke klant.

Van apparatuur met één machine tot geïntegreerde lijncoördinatie, en van procesverificatie tot batchintroductie: Donghe Technology streeft ernaar samen te werken met meer saffiersubstraatbedrijven om de verwerkingsupgrade van grote harde en brosse materialen te bevorderen, waardoor 12-inch saffiersubstraatsnijden mogelijk wordt. om echt haalbaarder, nauwkeuriger, stabieler en efficiënter te worden.