マルチワイヤーソーの取り付け: ステップバイステップのセットアップガイド

マルチワイヤーソーマシンの取り付け方法: 完全なセットアップと試運転ガイド

マルチワイヤーソーの取り付けは、石、シリコン、または超高品質のセラミックを処理しているかどうかにかかわらず、長期的な切断性能を決定する単一の最も重要な要素です 設置品質はウェーハ歩留まりを決定し、機械の稼働時間に対する単一の最大の貢献者のデータ マルチワイヤーソー 試運転プロジェクトでは、繰り返し発生するすべての鋸引きの問題の約66% (表面偏差、一貫性のないカーフ幅、早期ワイヤー破損など) が設置中に発生し、主にアライメント不良が原因であることが特定されています。平準化されていない床に機械ファイファイドされたり、信頼性の低い電源に接続されたりしても、制御システムがどれほど進んでいるかに関係なく、一貫して実行されることはありません。この文書では、現場の準備や機械設置から設置配線、冷却剤のセットアップ、試運転テストカットに至るまで、マルチワイヤーソー設置技術のすべての手順について説明します。ここでの手順は、業界内での実践と、それが最初の機械の設置であるか古いユニットの交換であるかに関係なく、関連するあらゆる安全規制を代表するものです。.

事前設置サイトの準備と機械の位置決め

適切な現場準備は、他のどの単一フェーズよりも設置中の遅延が大きくなります。マルチワイヤーソーが施設に配送される場合、受け取りエリアは構造、電気、スペース、環境という 4 つの重要な基準を満たしている必要があります。これらのいずれかを見落とすことは、機械がすでに現場に設置されると、コストのかかる修正になります。.

構造および床の要件

マルチワイヤーソー機械の重量は、小さな実験室ユニットの場合は約 2,000kg、次のような高スループット生産装置の場合は最大 15,000kg までさまざまです MW1212C. 。 slab基礎はそうでなければ健全なコンクリートでなければならない、および指定されたポイントで機械重量に耐える能力がある ー負荷条件のための製造業者の基礎デッサンを参照して下さい。 slabの最小厚さは一般に200mmですが、より重い機械が取付けられている場合、スラブの強さは補強によって増加する必要があるかもしれません床面は1 メートルあたりの1mm以内に地面フラッシュであるべきです、床面が不均一なら基礎の平準化のプロセスはエラーを生み出すワイヤーの摩耗そして偏向を誘発します。.

電力と環境条件

中レベルのマルチワイヤソーの場合、フル負荷時の動作電力消費量は約~110 Kwです 3 相電気が必要で、380V/50Hzまたは480V/60Hz、正しく定格された電源を備えた専用電源電圧で5%を超える変動により、V/Hzインバータコントローラがトリップします 周囲環境は15-30Cの間である必要があり、70%以下の相対湿度は、精密な配向面上に結露が蓄積するのを防ぎます OSHA規格1910.212, 、操作のポイントのガードはボルトで締まる前にすべての機械類-点検土台ポイントおよび整理取付けられている必要があります。.

機器の荷降ろしとリギング

任意 マルチワイヤーソーマシン その重量の1.5 倍に評価されるクレーンかフォークリフトによって持ち上げられるべきです ガイドレール、コードリール、またはワイヤー張力腕から機械を持ち上げないでください メーカーが指定した持ち上げポイントでエンジニアが承認した持ち上げクレードルのみを使用してください アンカーボルトは、基礎図面で推奨される位置でコンクリートスラブにセットされたM16 またはM20 ケミカルアンカーであるべきです ボルトを仕様にトルクし、その後、24 時間後に再チェックします 化学薬品が治るので、機械の周囲に少なくとも800mmのクリアランスを残します。.

アンカーボルトの取り付け中に正確な床と硬化時間への適切な投資は、等距離の画質カットでそれ自体を正当化します。取り付けられたアンカーパターン内で移動するときに、機械の位置を変更しても、2回目の回転で同じ精度を保証することはできません。.

機械アセンブリ ――ワイヤーガイド、プーリー、テンションシステム

機械的設置は、セットアップの側面が切断品質に最も大きな影響を与える場所です。入手可能なほぼすべてのマルチワイヤーソー機器メーカーからのフィールドサービスレポートによると、故障の 3 分の 1 は位置ずれが原因であり、鋸の準備作業が原因ではありません。ガイドホイール、プーリー、張力装置はすべて結合システムとして機能します。1 つの位置ずれしたガイドホイールは、ワイヤーのスループット、表面仕上げの品質、および全体的な切断精度に大混乱を引き起こす可能性があります。.

ガイドホイールとプーリーの取り付け

ガイドホイール、またはガイドローラーは、4,000 mmの中心で各ワイヤの静止位置を決定し、プーリーは3,000 mmの中心でガイドホイールの位置を決定します ガイドホイールはベアリングマウントに取り付けられ、手で自由に回転できるかどうかを確認する必要があります 各ローラーは軸方向の動きが不可能であり、手動回転は拘束や狭いスポットなしで滑らかである必要があります ISO 230-1 で要求されているように、ダイヤルインジケーターでプーリーの振れをチェックする必要があります 重要な点: 示された振れの合計は、ワイヤースパンを横切って片方向に0.01 mmを超えることはできません 波状性は、1,200 mmで0.02 mmまで肉眼で視覚的に検出可能 ピッチキャリブレーションを実行し、ワイヤー列が正しい位置から0.005 mm以内に収まるように、高精度のガイドホイールピッチゲージでチェックする必要があります。.

テンション機構の設定

ほとんどのテンション機構は空気圧式、油圧式、またはサーボ駆動機構を使用しています 流体または空気圧供給装置に取り付けられたら、ラインをトレースし、合計6 サイクルで機構を実行します すべてのテンションアームアタッチメントは (ダンパースティクションなしで) 自由に動き、ケーブルシステム全体がテンションサイクル全体を均等に実行する必要があります 目に見える問題はありません なぜですか? このバランスの重要性を理解するには、考えてみてください マルチワイヤー切断 1 つの完璧なシステムとして、1 本のワイヤーでも残りのワイヤーの後ろに引きずられると、カット全体が劣化します。.

キーポイント: プーリーとガイドホイールの位置合わせには、アイボールチェックではなくダイヤルインジケーターを使用します。 0.01 mm では、人間の目では許容誤差が微妙すぎて検出できません。.

電気接続と制御システムのセットアップ

マルチワイヤソーの電気配線と設置は、IEC 60204-1 およびローカル電気コードの制限に準拠する必要があります。配線エラーにより、可変周波数ドライブや回転可能な主駆動モーターとともに PLC メモリに大混乱が生じ、ガイドを通じてワイヤが誤って供給される可能性があります。.

フェーズシーケンスと接地

位相回転インジケーターでテストすることにより、機械に電力を供給する前に、三相電力を直接テストします。逆位相回転とは、主駆動モーターが後方に回転し、ガイド溝ではなくガイド溝にワイヤーを掛けることを意味し、ガイドホイールセットを破壊する可能性があります。 IEC 60204-1 は、フレームの接地点でアース抵抗 eluntw4 を指定します。 - 専用のアースメーター (マルチメーターではない) で測定値を取得する前に、ターミナルボックス内の PE ターミナルにアースを接続します。.

VFD 構成および安全回路

メーカーの試運転シートに指定されている動作パラメータ値でVFDを充電します: 加速ランプ、減速ランプ、最大周波数を制限、電流を制限 機械加速中の過度の機械的衝撃は許容できず、ワイヤまたはガイドホイールの損傷を引き起こす可能性があるため、各ランプ回路に一致する各緊急停止回路を確認します OSHA 1910.147 (LOTO). .すべてのストップは、安全データシートが許す時間より短い時間で、すべての可動部品から電力を隔離する必要があります.PLCを起動します.ファームウェアのバージョンを確認し、組み込みのI / O診断を実行して、よく理解します ダイヤモンドワイヤーソーの安全ガイドライン 別途文書化.

重要なコンセプト: ドライブに電力を供給する前に、すべての接地と位相の検証が完了していることを確認してください。モーターを反転すると、ガイド ホイールが破損し、たとえ数秒間でもワイヤー寿命が短くなります。.

ワイヤーねじ切り、張力校正、アライメント検証

ワイヤーねじ切りは、設置が機械的な準備から運用準備に移行するポイントです。ワイヤーのルーティングパス、張力供給の校正、および同一平面上の位置合わせチェックの組み合わせにより、機械が最初に稼働したときに必要な切り込みが確実に得られます。.

ワイヤーのルーティングとスレッド化の手順

機器に付属のルーティング図に従ってワイヤを取り付けます。供給スプールからワイヤを供給し、テンション アームを通って下に進み、ガイド ホイールとカット ゾーンを横切り、その後巻き取りスプールを通します。構成によっては複数のワイヤが走るため、下の溝から上に糸を通します。各ワイヤがガイド ロッドの溝に完全に収まっていることを確認したら、次のワイヤに糸を通します。ガイド ロッドのリップに乗っているワイヤが張力を受けて移動し、隣接するワイヤに衝撃を与えます。.

ダイヤモンドワイヤーの矢印マーキングが見たい方向を指していることを常に再確認してください 逆のワイヤーは通常のレートの30-50%で切断され、そのダイヤモンドコーティングは間違った方向に摩耗します ダイヤモンドの寿命が短くなると、結果としてコストが劇的に増加します 学習 ダイヤモンドワイヤーソーの仕組み その核心では、このステップは本能的なものになります。.

張力校正

インライン張力計に対してワイヤー張力を治す (スプリングスケールを使用しない) 0.35 mmのダイヤモンドワイヤーで精密に切断した場合、ワイヤー張力はワイヤーあたり18-22 N (Newtons) である必要があります より大きな工業用ワイヤー (0.6-1.0 mm) は、材料に応じて100-300 Nが必要です ワイヤー張力は、切断中に5%を超えて変動してはなりません ーそれ以上は、張力アームのベアリングの摩耗または供給ラインとの圧力問題を示します。.

キャリブレーション間隔は切断時間 200 時間未満です。テンション アームは摩耗、スプリング疲労、レギュレーターのドリフトをピボットします。100 線式アレイ全体で 2 ニュートンでもドリフトすると、一方の側がもう一方の側よりも深くカットされるため、テーパー ウェーハが発生します。.

共同プレーナーアライメントチェック

ワイヤーが所定の位置に配置され、張力がかかると、直線エッジまたはレーザーアライメント装置を使用して、同一平面上の位置合わせを確認します。ワイヤーアレイの適切な同一平面上の向きは、単一平面から 0.02 mm 以内です。 「慣らし運転」期間として 15 分間、低速 (2-5m/秒) でワイヤーを走行させた後、張力と同一平面上の位置合わせを再確認します。新しいワイヤーはわずかに伸びる傾向があります。.

「必須事項」の概要: 優れたインライン張力計による張力、溝の取り付けの確認、矢印の方向の確認、ウォーク ワイヤーを 1 つずつ実行します。これらのステップのいずれかをスキップすると、予見可能な将来にわたってマシンが切断するすべてのウェーハで明らかです。.

冷却剤およびスラリー管理システムの設置

クーラントは、切断速度、ワイヤ寿命、仕上げ品質を直接制御します。不良納期は、ミスアライメント後の早期ワイヤ故障の 2 番目に大きな原因です。この設置段階は非常に重要です。.

ノズルの位置決めとフロー構成

ワークピースのワイヤ入口点に直接流れ込むように角度を付けたカットゾーンから10-15 mmの位置ノズル 流量の推奨事項は、ワークピースの材料とカット長さに応じて異なります (5-15 L / 分) 冷却剤の温度は15-25 Cに維持する必要があります ~ 25 Cを超えると冷却能力が損なわれ、ワイヤ寿命が大幅に短縮される一方、15 C未満の冷却効率は粘度とリーチによって損なわれることに注意してください。.

フラッシング ループ asseting tanks (沈殿槽) 、フィルター、リターン ポンプを接続します。 flushing loopの各々には、20 mまでの破片を除去する定格の粒子分離器が含まれている必要があります。 2%以上の収集サンプに向かって傾斜しているすべての排水路を確認します。; 機械床に冷却剤を常備すると、精密表面が急速に腐食します。.

主なポイント: クーラント ノズルとシフト後のフラッシュ プロトコルは交渉の余地がありません。システムが詰まると、メンテナンスの費用よりも計画外のダウンタイムが大幅にかかります。.

コミッショニング ―― テストカットとパフォーマンス検証

コミッショニングにより、新しく設置されたマシンが検証可能な生産ツールにハイブリッド化されます。このシーケンス (ドライラン、最初のテスト カット、寸法検査、受け入れサインオフ) (シーケンシャル) は、次のとおりである必要があります。テスト カットをスキップすることによって、ほとんどの CMML マシン工場での呼び出しがサービス開始から最初の 30 日以内に発生します。.

ドライランプロトコル

機械を30-60 分間ドライランします ワイヤー速度の安定性 (2%許容) 、冷却剤の流れ、張力、およびベアリングの家の温度を測定します (45 C未満で安定する必要があります)。異常な振動またはリズミカルな音は、切断前に調整する必要がある位置ずれを示します。.

最初のテストカットと測定

推奨送り速度である50-70%での最初のテストカットには代表的なサンプルを使用してください。 5点 (4 つの角と中央) でワークピースのウェハ厚さをマイクロメーターで測定します。 aなどの精密機械では、総変動は定格仕様内である必要があります MW4040T-300 さん, 、これは15 m、MW4040T-160 のために、これは25 mです 波状性の印、供給ライン、および採点のための点検の表面; 完全な生産が始まる前に、スペック外の何でも調節されなければなりません使用して下さい この 選択 ガイド モデル固有のデータ用.

重要な教訓の要約: 予行演習に基づいて機械を生産に導入しないでください。実際のテストカットでは、適切な材料が使用されており、無負荷テストでは予測できない問題がわかります。.

設置後の予防メンテナンススケジュール

適切に設置されたマルチワイヤソーは、適切に計画されたものと同じくらいの時間しかかかりません 業界サービスのデータが示しているのは、計画外のダウンタイムを引き起こすワイヤソーの故障の80%は、機械の故障ではなく、メンテナンスの延期によって引き起こされたものです 業界全体では、およそ70%の機器の故障イベントが、定期的な定期メンテナンスを伴う可能性のある警告サインを示している 試運転直後に、以下のスケジュールを設定します。.

メンテナンス頻度表

良好なメンテナンス文化は、インストール時に開始します マシンをインストールする技術者は、サインオフする前に、毎日および毎週のタスクのスケジュールについてオペレーターを訓練する必要があります 予防的 ワイヤーソーのメンテナンスのベストプラクティス 業界からの情報は個別に文書化されます。.

主なポイント: メンテナンスはコストではありません; それは、インストール中に行われた投資を保護するバッファです。 80%故障が計画外であるという統計は、規律あるスケジューリングの重要性を示しています。.

よくある質問frequently Asked Questions

このインストールガイドについて

このユーザーガイドは、上海を拠点とするDONGHEのマルチワイヤーソーシステムメーカーが発行しており、10年以上のエンジニアリング経験、35件の特許取得、および世界中で300以上の正常にインストールされたシステムを備えています。ここに示されているすべての手順は、インストール中に実行された当社の経験豊富なフィールドエンジニアリングチームが従う手順です。便利な参考のためにここに公開されています。.